Резонатор на Газель
от до
Название:
Артикул:
Текст:
Выберите категорию:
Все
Общий каталог запчастей
» Запчасти и Аксессуары для а/м семейства Газель
»» Запчасти для а/м Газель
»» Запчасти для а/м NEXT
»» Запчасти дя а/м Соболь 2217, 2705, 3221
»» Запчасти для а/м ГАЗ-3310 ВАЛДАЙ
»» Запчасти для а/м Волга ГАЗ-3110
»» Запчасти для а/м ГАЗ-3307
»» Запчасти для а/м ГАЗ-3309
»» Запчасти для а/м ГАЗ-53, ГАЗ-66
» Запчасти на CUMMINS
» Запчасти на УАЗ
»» Зеркала на УАЗ
»» Глушитель на УАЗ
»» Шкворня на УАЗ
»» Фаркоп на УАЗ
»» Фары и фонари на УАЗ
»» Шрус на УАЗ
»» Отопитель на УАЗ
»» Фильтр на УАЗ
»» Брызговики и подкрылки на УАЗ
»» Карданный вал на УАЗ
»» Водяной насос на УАЗ (помпа)
»» Сцепление на УАЗ
»» Радиатор на УАЗ
» Запчасти на ПАЗ
» Запчасти на ВАЗ
» Запчасти на ЗИЛ
Тенты, Борта, Каркасы
» Стандартный Тент
» Тент увеличенный на +30 см, +40 см, +50 см
» Тенты импортная ткань КОРЕЯ
» Борта
» Каркас тента (заводской)
» Прямоугольный сборный Каркас + Тент (Комплект)
» Платформа
»» Кузовные стремянки
» Европлатформа
Детали кузова
» Зеркала и запчасти
»» Зеркала в сборе
»» Зеркальный элемент
»» Кронштейн зеркала
»» Накладки кронштейна зеркала
»» Повторители поворота на зеркало
»» Удлинитель обзора зеркал
» Двери и запчасти на двери
»» Двери
»» Замок двери, дверные механизмы
»» Ручки двери
»» Петли двери
» Брызговики и подкрылки
»» Передние брызговики
»» Подкрылки (локера)
»» Задние брызговики резина
»» Задние брызговики ТЮНИНГ
»» Задние брызговики ТАКСА
» Противоподкатный брус
» Бампер
»» Усилитель бампера
»» Кронштейны бампера
»» Защита бампера (кенгуринг)
» Решетка радиатора
» Ремонтные накладки
»» Лонжерон
»» Ремонтная накладки крыла
»» Ремонтная накладка двери
»» Подножка кабины
»» Ремонтная накладка проёма
»» Кожух фары
»» Ремонтные накладки кабины (кузова)
» Фурнитура и аксессуары для фургона
»» Фурнитура (комплекты) для фургона
»» Выдвижная лестница в фургон
»» Буфер (отбойник) на фургон
»» Петли двери фургона
»» Рукоятка двери фургона
» Стекла
»» Форточка
»» Люк
» Усилитель рамы
»» Поперечины
» Удлинители рамы
» Капот
» Крыло
» Обвес (арки, накладки)
» Кронштейн кабины
»» Подушка кабины
Запчасти и аксессуары (ТЮНИНГ)
» Полезные аксессуары в салон
» Запчасти панели приборов
»» Комбинация приборов
»» Дефростер
»» Пепельница и прикуриватель
»»» Прикуриватель
»» Карманы для документов, вещевые ящики, бардачок
»»» Ремкомплект ящика, крышки
»» Блок управления отопителем
»» Облицовка панели приборов
» Обивка салона, пластиковые накладки
» Обивка дверей
» Спойлер, Обтекатель
» Дефлектор
» Солнцезащитный козырек
» Коврики салона
» Шторки в кабину
» Ламбрекены и вымпелы
» Стеклоподъёмники
» Рулевое колесо
» Подлокотники
» Полки
» Консоли
» Столик декоративный на панель приборов
» Сиденье
» Чехлы ЭКО КОЖА
» Чехлы Ткань Жаккард
» Утеплитель решетки радиатора и двигателя
» Инструментальный ящик
» Колпаки
» Тюнинг салона (ПОД ДЕРЕВО)
» Светоотражающие жилеты и таблички
Освещение, Фары, Фонари, Плафоны, Габаритные огни, плафоны
» Фары
» Фонари задние
» Габаритные огни
» Фонарь освещения номерного знака
» Повторитель поворота
» Плафоны освещения кабины
» Лампы
» ПТФ
» Фара-прожектор
» Катафоты (световозвращатель)
» Ходовые огни
Стеклоочистители и омыватели (трапеция, бачки, мотор)
» Щётки стеклоочистителей
» Рычаг щётки стеклоочистителя
» Жиклёр омывателя стекла
» Трапеция стеклоочистителя
»» Моторедуктор стеклоочистителя
» Бачок омывателя
»» Мотор бачка омывателя
» Щетки для снега и водосгон
Запчасти для тех.
Производитель:
Все387548138755413F (Турция)ABRO (США)ABRO (США)AIRLINEAKABAALCAALEX-AutoAllied NipponAMP (Польша)Anvis GroupARIDEASPATK PREMIERAvtoDriverAvtoStyleAZARDBAUTLERBMBODYBOSCHBRANO (Чехия)BRISK (Чехия)BrizGardBuzuluk ЧехияCAMPAR (Корея)CARGENCARTRONICCASTROLCHAMPIONCHAMPIONCoidoCORTECO (Германия)CORTECO (Германия)CRAFTCUMMINS (FOTON)CUMMINS C+Cummins Inc.
CZCZ (Чехия)DAKEN (Италия)DAKEN (Италия)DENSO (Япония)DENSO (Япония)Detail LineDITTONELDIX (Болгария)ELDIX (Болгария)ESPRA (Испания)ESPRA (Испания)FENOXFleetguardFleetguardFORTECHFOTONGAS CAPGeneral ElectricGeneralTechGOLD WHEELGoodyearHERZOGHOFERHOLA (Голландия)JUNTAKENO KET-TUNINGKOOSHESH (Иран)Kraft (Agrokom)KRAFT (Турция)KRENZ ГерманияLION (Ростов)LOGO-RKLUK (Германия)LUZARMagnum (Россия)MANDOMANN ГерманияMANNOLMasterWax (Россия)MaxBoxMaxboxPROMOBILMoravanMotoristMTA (Италия)NGK (Япония)NIPPON (ЯПОНИЯ)NOKSNOKS ДимитровградNORMA (Германия)Nova BrightOptibelt ГерманияOSRAMOSVAT ИталияPHILIPSPILENGAPRAVTPROдетальREZKONREZKONRS DETALRUBENA (Чехия)SACHS (Германия)SACHS (Германия)SCT (Германия)SCT (Германия)SDV motorsSDV motorsSIMENSSINTECSKFSKF (Швеция)SKV-LightingSLONSOLLERSSTALServisSTAR (Ростов)STARCO (Турция)SUFORCETANAKITechnikTESLATIRSANTOREROTORNADO (ТОРНАДО)TOTALTRANSMASTERTRIALLITRIANGLETRMTRUCKMANTUC (Иран)V-NNVETTLER (Германия)Vita-TruckVoron GlassWEBERWONDERFULX-TURBOZF (Германия)ZICZOMMERАВАР (Псков)АвтоDелоАвтоАрматураАвтоблюзАвтоконАвтоКонтинентАвтомагнатАвтооптикаАвтопартнерАвтопровод ВОСАВТОРАДАВТОРАДАВТОРГАвтоРусь77АвтоСателлитАвтоТрейд (Калуга)Автошланг (Балаково)АВТЭЛАГАТАГРЕГАТАгрокомАЗГАЗГ-ДетальАКОМАЛПАСАПОГЕЙ (Ульяновск)АСТРОАШК (Барнаул)БАГУ (Борисов)Баки-ННБалаковоБАТЭБелАвтоКомплектБЕЛМАГБИГ-ФИЛЬТРБОН ЧелябинскБОРБРТБРТ (Балаково)ВАТИВолжскийВПТГАЗПРОМНЕФТЬГерманияГЛАВДОРДААЗДайдо Металл РусДайдо Металл РусьДельта-АвтоДЗСДЗТАДЗТАДиалучДимитровградДПКЗавод АвтокомпонентЗаволжьеЗЗА (Заволжье)ЗМЗ (Заволжье)ЗМЗ (Соллерс)ИдеALИжавтотормИмпортИП КосойИранКардан-Сервис (Арзамас)КЗАТЭКитайКНРКОРДКОРЕЯКрасная ЭтнаЛВ-АвтоЛИДЕРЛихославльЛУКОЙЛМарКонМОСТатНабережные ЧелныНАЧАЛОНижний НовгородНПП ОРИОНОАО ВолнаОренбургОРИГИНАЛОСВОСВ (Мелитополь)ОСВАРПЕКАРПКТППластформПРАМО-ИСКРАПРЗПРТИРТИ-СервисРусАвтоЛидерРФРФСаранскСаратовСЕВиЕМ (Самара)СЗРТСЗССИБДЕТАЛЬСкопинСкопинСмоленскСОАТЭСТЕЛСТАНДЕМТД АвтокомпонентТДКТДКТехАвтоСветТехнопластТехнопрофильТИИРТольяттиТосол-СинтезТРАНСМАШТРИАЛТУРБОКОМУАЗУАЗ ОРИГИНАЛУКДУМЗУтесФормПластФормула СветаХИМ-СИНТЕЗЦИТРОНЧайковскийЧебоксарыЧМЗ (Чусовой)ШААЗЭкомашЭЛКАРЭнергомашЮККАЮККАЯРТИ
Новинка:
Вседанет
Спецпредложение:
Вседанет
Результатов на странице:
5203550658095
Резонатор в Украине.
Цены на резонатор на Prom.uaКварцевый резонатор генератор 32.768 кГц DS
Доставка по Украине
100.28 грн
50.14 грн
Купить
10x Кварцевый резонатор генератор 32.768 кГц DS
Доставка по Украине
158.58 грн
79.29 грн
Купить
10x Кварцевый резонатор генератор HC-49S 20 МГц DS
Доставка по Украине
158.58 грн
79.29 грн
Купить
Кварцевый резонатор генератор HC-49S 20 МГц DS
Доставка по Украине
100.28 грн
50.14 грн
Купить
Кварцевый резонатор генератор HC-49S 40 МГц DS
Доставка по Украине
100.28 грн
50.14 грн
Купить
Резонатор Ваз 2109; 21099; 2113; 2114; 2115 инжектор
На складе в г. Львов
Доставка по Украине
990 грн
Купить
All InCluSive
Резонатор воздушного фильтра 8200323523 Renault Clio 3 (Рено Клио 3)
На складе
Доставка по Украине
1 480 грн
Купить
RAZBORKINO
Резонатор воздушного фильтра Renault Laguna III 2.
0 dci 8200686267 лагуна 3
На складе в г. Пустомыты
Доставка по Украине
1 295 грн
Купить
RAZBORKINO
Резонатор Volkswagen Passat CC: 1.8; volkswagen Passat B6:1.8, 2.0; Volkswagen Passat B7: 1.8.
На складе в г. Львов
Доставка по Украине
1 390 грн
Купить
All InCluSive
Резонатор Mitsubishi Carisma: 1.6; 1.8; 1.9D; Volvo V40: 1.9D; Volvo S40: 1.9D
На складе в г. Львов
Доставка по Украине
1 390 грн
Купить
All InCluSive
Резонатор Ваз 2108 2109 21099 карбюратор
На складе в г. Львов
Доставка по Украине
1 050 грн
Купить
All InCluSive
Резонатор Citroen Berlingo 1.9 D 2002 -2008 гг
На складе
Доставка по Украине
1 160 грн
Купить
АВТО КОМФОРТ +
Резонатор Peugeot Partner 1.
9 D 2002 — 2008 гг
На складе
Доставка по Украине
1 160 грн
Купить
АВТО КОМФОРТ +
Резонатор Ваз 1117 1118 1119 Калина BOSAL алюмин.
Доставка по Украине
1 530 грн
Купить
KZP-Auto
Резонатор Авео седан/хетч Bosal
На складе
Доставка по Украине
1 210 грн
Купить
KZP-Auto
Смотрите также
Резонатор инжекторный Таврия Bosal Босал
На складе
Доставка по Украине
849 грн
Купить
KZP-Auto
Резонатор Ланос/Сенс под фланец Bosal босал
На складе
Доставка по Украине
1 140 грн
Купить
KZP-Auto
Резонатор Лачетти Bosal Босал 05.61
На складе
Доставка по Украине
1 410 грн
Купить
KZP-Auto
Резонатор на Дэу ЛАНОС, ЗАЗ СЕНС (Daewoo Lanos, Sens) под фланец (седан) BOSAL Оригинал! (141-015,TF69Y0-12) /
Доставка из г.
Киев
953.92 грн
Купить
Оптовый магазин-склад автозапчастей «Олимп Авто»
Резонатор ЛАНОС, СЕНС(Deawoo Lanos,ZAZ Sens) Евро-3 с гофрой (под хомут) BOSAL Оригинал! (286-441)
Доставка из г. Киев
1 253.90 грн
Купить
Оптовый магазин-склад автозапчастей «Олимп Авто»
Резонатор Ланос, Сенс (Lanos, Sens) Евро-2 с гофрой под хомут под датчик (292-071) BOSAL Оригинал Босал
Доставка из г. Киев
1 579.55 грн
Купить
Оптовый магазин-склад автозапчастей «Олимп Авто»
Резонатор ЛАНОС, СЕНС (Deawoo Lanos, Zaz sens) 1.4 Евро-4 (с гофрой) BOSAL Оригинал! (292-069,ta69w0-1202008)
Доставка из г. Киев
1 696.85 грн
Купить
Оптовый магазин-склад автозапчастей «Олимп Авто»
Резонатор Шевроле Лачетти(Chevrolet Lacetti) BOSAL (284-481B) Оригинал!
Доставка из г. Киев
1 227.56 грн
Купить
Оптовый магазин-склад автозапчастей «Олимп Авто»
Резонатор Деу Матиз ( Daewoo Matiz )
На складе в г.
Львов
Доставка по Украине
930 грн
Купить
All InCluSive
Резонатор ГАЗ 2410 2410-1202008-99 ЮТАС
На складе
Доставка по Украине
357 грн
Купить
Сarway магазин автозапчастей
Резонатор Volkswagen Transporter 2.4D SWB 2920 028253409C POLMO
На складе
Доставка по Украине
1 072.26 грн
Купить
Сarway магазин автозапчастей
Резонатор Opel Omega A 1,8 kat 86-94 17.30 POLMO
На складе
Доставка по Украине
1 340.32 грн
Купить
Сarway магазин автозапчастей
Резонатор Daewoo Nubira 96311380 POLMO
На складе в г. Днепр
Доставка по Украине
1 325.43 грн
Купить
Сarway магазин автозапчастей
Резонатор Volkswagen Golf II 1.6TD/1.8/1.8i kat.83-9 30.34 POLMO 30.35
На складе
Доставка по Украине
714.
84 грн
Купить
Сarway магазин автозапчастей
характеристики, фото и отзывы покупателей
2 649 ₽Товар сейчас не доступен, посмотрите похожие
Перейти в магазинТовар больше не продаётся, посмотрите похожие
Ссылка скопирована, поделитесь ею
Или отправьте через соцсети
Данный товар сейчас не доступен, но есть аналогичные и похожие
Цена выросла на 412 ₽
Дороже средней, значительноПродавец надежный – 89%
Выше среднего, можно покупать, AUTOs Dropshipping’S Store
- На площадке более 3 лет
- Высокий общий рейтинг (1421)
- Покупатели довольны общением
- Товары соответствуют описанию
- Быстро отправляет товары
- 4.4% покупателей остались недовольны за последние 3 месяца
Цены у других продавцов от 2034.
13 ₽2 034 ₽
Универсальный резонатор на входе 2,5 дюйма/эффективный глушитель из нержавеющей стали 11,5 дюйма
1оценка
1заказ
Надежность – 27%
Продавец Shop5792943 Store
В магазинПерейти в магазин
2 166 ₽
2,5 дюймов вход Универсальный резонатор/производительность глушитель из нержавеющей стали 11,5 дюйма
1оценка
0заказов
Надежность – 52%
Продавец Shop5133075 Store
В магазинПерейти в магазин
2 106 ₽
2,5 дюйма на входе Универсальный Автомобильный резонатор/производительность глушитель выхлопной трубы Нержавеющая сталь 11,5 дюймов
0оценок
0заказов
Надежность – 61%
Продавец Deoxygene Store
В магазинПерейти в магазин
Найдено 46 похожих товаров
2 241 ₽
Автомобильный глушитель выхлопных газов 2,5 дюйма на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный эффективный глушитель
1
0
Надёжность продавца 9%
-3
%
2 055 ₽
Автомобильный глушитель выхлопных газов 2,5 дюйма на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный эффективный глушитель
0
1
Надёжность продавца 89%
-3
%
2 184 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 61%
2 216 ₽
Топ!-автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 85%
2 305 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 19%
2 013 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 31%
2 210 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 38%
2 178 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 89%
2 046 ₽
Автомобильный глушитель 2,5 дюймов на входе из нержавеющей стали универсальный резонатор 12 дюймов длинный глушитель производительности
0
0
Надёжность продавца 43%
182.
20 – 392.22 ₽
Наконечник выхлопной трубы, универсальный хромированный глушитель на входе в автомобиль, 2,5 дюйма, овальная форма, из нержавеющей стали
2
1
Надёжность продавца 85%
-2
%
1 677 ₽
Универсальный 2,5 "вход до 2,5" на выходе автомобильный глушитель резонатор изогнутый полированный наконечник выхлопной трубы из нержавеющей стали
1
1
Надёжность продавца 66%
825.47 – 1 631 ₽
Автомобильный глушитель выхлопной трубы speedwow, наконечник из нержавеющей стали 2,5 дюйма на вход 2,5 дюйма, автомобильный резонатор
1
1
Надёжность продавца 89%
-0.5
%
1 814 ₽
Универсальный автомобильный глушитель из нержавеющей стали резонатор изогнутый полированный наконечник выхлопной трубы 2,5 "вход до 2,5" выход
0
0
Надёжность продавца 89%
-2
%
981.
25 ₽
Espeeder 2,0 "на входе до 4" на выходе универсальный глушитель выхлопной трубы из нержавеющей стали глушитель выхлопной трубы глушитель резонатор
0
0
Надёжность продавца 89%
Неполные данные
2 673 ₽
Универсальный глушитель из полированной нержавеющей стали, с наконечником 2,0 дюйма на входе 3,5 дюйма
0
0
Надёжность продавца 0%
2 828 ₽
Автомобильная задняя выхлопная труба 63 мм 2,5 дюйма на входе, универсальный глушитель из нержавеющей стали с двойным выходом, глушитель, наконечник глушителя, аксессуары
0
0
Надёжность продавца 55%
-4
%
1 438 ₽
Универсальный глушитель для выхлопной трубы, выхлопной наконечник из нержавеющей стали, хвостовик глушитель трубы 2,5 дюйма на вход 4 дюйма, выход с логотипом
0
0
Надёжность продавца 61%
2 015 – 4 450 ₽
1/2 шт.
, универсальный автомобильный глушитель из нержавеющей стали, 63 мм, 2,5 дюйма
6
23
Надёжность продавца 89%
-13
%
484.71 ₽
2,5 "универсальный впускной гриль синий автомобиль из нержавеющей стали глушитель наконечник трубы
0
0
Надёжность продавца 68%
-15
%
484.71 ₽
2,5 "универсальный впускной гриль синий автомобиль из нержавеющей стали глушитель наконечник трубы
0
0
Надёжность продавца 85%
-13
%
495.84 ₽
2,5 ''универсальный впускной гриль синий автомобиль из нержавеющей стали глушитель наконечник трубы
1
0
Надёжность продавца 85%
-6
%
833.
82 ₽
2,25 «2,5» 3,0 «нержавеющая сталь глушитель выхлопной трубы автомобиля резонатор выхлопной глушитель трубы универсальный
0
1
Надёжность продавца 89%
2 673 ₽
Универсальный глушитель из полированной нержавеющей стали с выгоревшим наконечником глушитель 2,0 "на входе до 3,0" на выходе выхлопной наконечник глушитель
0
0
Надёжность продавца 89%
-9
%
Неполные данные
548.00 – 1 320 ₽
Автомобильный двойной глушитель выхлопной трубы 2,5 дюйма на входе с болтовым креплением на квадратном каблуке косой срез нержавеющая сталь выхлопная труба глушителя наконечник универсальный
1
1
Надёжность продавца 0%
-0.
9
%
1 162 ₽
Универсальный глушитель выхлопной трубы espeeder с отполированным наконечником, глушитель из нержавеющей стали 2,0 дюйма на входе в 3 дюйма на выходе, глушитель выхлопной трубы
0
0
Надёжность продавца 100%
-3
%
1 668 ₽
Универсальный черный автомобильный глушитель выхлопной трубы, выпускной наконечник 3 дюйма на входе 4 дюйма, хвостовик из нержавеющей стали, задний выпускной клапан
1
0
Надёжность продавца 85%
1 469 ₽
Наконечник выхлопной трубы из полированной нержавеющей стали, 2-2,5 дюйма/5-6,35 см, регулируемый входной наконечник выхлопной трубы, 2-2,5 дюйма на входе 3,5 дюйма, выход 6 дюймов
1
1
Надёжность продавца 72%
-2
%
Неполные данные
143.
26 – 990.98 ₽
Автомобильная выхлопная система из нержавеющей стали с кромкой в форме сердца, насадка для выхлопной трубы, наконечник глушителя, универсальный вход 2,5 дюйма
0
1
Надёжность продавца 0%
-3
%
1 283 ₽
Vodool автомобильный двойной наконечник выхлопной трубы 2,5 дюйма на входе с болтовым креплением на квадратном каблуке косой срез нержавеющая сталь выхлопная труба глушителя наконечник универсальный
0
0
Надёжность продавца 89%
1 112 – 1 599 ₽
Универсальный автомобильный выпускной глушитель x autohaux из нержавеющей стали, диаметр 4,45 см/1,75 дюйма до 6,35 см/2,5 дюйма, глушитель выхлопной трубы
2
3
Надёжность продавца 89%
4 333 ₽
Глушитель выхлопной трубы с двойным клапаном из нержавеющей стали, 2,5 дюйма
0
1
Надёжность продавца 68%
-11
%
1 017 – 1 095 ₽
Один наконечник выхлопной трубы 63 мм на входе (89 мм на выходе) углеродное волокно + красная краска из нержавеющей стали универсальный наконечник выхлопной трубы глушитель
0
0
Надёжность продавца 85%
-7
%
1 498 ₽
1 шт.
универсальный автомобильный глушитель выхлопной трубы из углеродного волокна из нержавеющей стали 66 мм на входе
0
0
Надёжность продавца 66%
-21
%
659.96 – 755.93 ₽
Универсальный выпускной наконечник из нержавеющей стали evil energy, 2,5 дюйма на входе, 4 дюйма, круглый наконечник для выхлопной трубы 63 мм или 60 мм, стайлинг автомобиля
1
1
Надёжность продавца 89%
401.26 – 1 070 ₽
Наконечник выхлопной трубы 2,5 дюйма, впускной болт с кромкой сердца, наконечник выхлопной трубы, цветной глушитель с двумя выходами, выхлопная труба из нержавеющей стали
0
0
Надёжность продавца 89%
3 547 ₽
64 мм на входе из нержавеющей стали выхлопной трубы автомобиля глушитель для bmw
0
0
Надёжность продавца 89%
951.
35 ₽
Глушитель выхлопной трубы с двойным наконечником выхлопной трубы 2,5 дюйма на входе 3 "на выходе 8,1" длина полированная нержавеющая 1,2 мм толщина #719
1
1
Надёжность продавца 89%
2 881 – 2 935 ₽
Универсальный 66 мм на входе 101 мм на выходе автомобильный хвостовой наконечник из углеродного волокна из нержавеющей стали
1
0
Надёжность продавца 55%
-2
%
1 022 ₽
Универсальный наконечник выхлопной трубы глушитель 60 мм (2,36 дюйма), впускной глушитель, наконечник выхлопной трубы, полированный глушитель из нержавеющей стали
0
0
Надёжность продавца 85%
-0.5
%
561.
91 ₽
Универсальный глушитель из нержавеющей стали, бесшумный глушитель потока для скутеров, мотоциклов, глушитель выхлопной трубы
0
0
Надёжность продавца 38%
5 814 ₽
2,5 "универсальный глушитель из нержавеющей стали с клапаном для выхлопных газов автомобиля
0
0
Надёжность продавца 53%
344.24 – 1 010 ₽
63 мм автомобильный наконечник для выхлопной трубы в форме сердца, болт из нержавеющей стали, наконечник глушителя выхлопной трубы, универсальный 2,5 дюймовый входной выхлопной наконечник, аксессуары
1
5
Надёжность продавца 51%
-6
%
150.21 ₽
2,5 дюймов из нержавеющей стали автомобиля выхлопной трубы наконечник глушитель универсальный
0
0
Надёжность продавца 65%
799.
74 – 842.16 ₽
Аксессуары для модификации автомобиля из нержавеющей стали, универсальный съемный глушитель из нержавеющей стали, глушитель для автомобиля, новый глушитель
0
0
Надёжность продавца 89%
-8
%
1 862 ₽
Титановый черный 63 мм 2,5 дюйма входной двойной задний глушитель выхлопной наконечник универсальный хвостовой выпускной клапан
0
0
Надёжность продавца 89%
Неполные данные
3 444 – 3 666 ₽
Автомобильный универсальный глушитель, насадка на воздухозаборник, 60 мм, глянцевое углеродное волокно + модификация из нержавеющей стали, двойная выхлопная труба
0
0
Надёжность продавца 0%
1оценка
0заказов
Фото от покупателей пока нет
Характеристики товара
- Origin: CN(Origin)
- Certification: NONE
Показать все
422 Планарный интегрированный всеволноводный резонатор с миллионами внутренних добротностей с шириной линии менее МГц
Abstract
Оптические резонаторы с высокой добротностью (Q) являются ключевым компонентом лазеров со сверхузкой шириной линии, стабилизации частоты, прецизионной спектроскопии и квантовых приложений .
Интеграция в платформу фотонных волноводов является ключом к снижению стоимости, размера, мощности и чувствительности к возмущениям окружающей среды. Однако на сегодняшний день добротность полностью волноводных резонаторов была ниже 260 миллионов. Здесь мы сообщаем о Si 3 N 4 резонатор с 422 миллионами собственных Q и 3,4 миллиарда Q с ограничением по поглощению. Резонатор имеет собственную ширину линии 453 кГц, нагруженную 906 кГц и ограниченную поглощением 57 кГц, а соответствующие потери 0,060 дБ м −1 являются самыми низкими на сегодняшний день для волноводов с напыленной оксидной верхней оболочкой. Эти результаты достигаются за счет тщательного уменьшения потерь на рассеяние и поглощение, которые мы моделируем, определяем количественно и соотносим с измерениями. Этот прогресс в технологии волноводных резонаторов прокладывает путь к полностью волноводным резонаторам Billion Q для приложений, включая нелинейную оптику, атомные часы, квантовую фотонику и оптоволоконные коммуникации высокой пропускной способности.
Введение
Резонаторы со сверхвысоким коэффициентом добротности (Q) играют решающую роль в широком спектре приложений, включая лазеры со сверхтонкой шириной линии 1,2,3 , оптические частотные гребенки 4,5,6 , оптические гироскопы 7 , оптические атомные часы 8 и квантовая связь и вычисления 9,10,11,12,13 . Резонаторы, используемые для сужения ширины лазерной линии и уменьшения фазового шума, были отнесены к настольным и объемным оптическим реализациям. Сужение ширины линии достигается за счет использования сверхвысокодобротных резонаторов (UHQR) в сочетании с оптоэлектронной обратной связью для подавления шума, близкого к несущей частоте. Стабилизация носителя осуществляется посредством стабилизации температуры, атермализации и изоляции от окружающей среды. Рекордно низкая ширина линии лазера 40 мГц со стабилизацией частоты 1 × 10 −16 в течение 1 с использовался криогенно охлаждаемый и изолированный от окружающей среды кремниевый резонатор Фабри-Перо 1 .
Стеклянные резонаторы со сверхнизким расширением позволяют реализовать полупроводниковые лазеры с шириной линии менее 1 Гц и стабилизацией порядка 2,7 × 10 −15 за 1 с 14 . Был достигнут прогресс в миниатюризации этих полостей с использованием конических волокон и объемных оптических резонаторов, связанных в свободном пространстве 15,16,17,18,19,20 , для достижения Qs в 63 миллиарда 18 . Компактные микростержневые резонаторы сантиметрового масштаба с 1 миллиардом добротности использовались для уменьшения интегральной ширины линии полупроводникового лазера до 25 Гц с 7 × 10 −13 стабильность относительной частоты при 20 мс 3 .
Преобразование производительности объемных оптических резонаторов в интегрированные конструкции волноводов приведет к значительному уменьшению размеров, мощности, стоимости и чувствительности к внешним возмущениям, а также обеспечит более высокий уровень интеграции 21,22,23 .
Конструкции с большой областью моды и объемом могут смягчить оптическую нелинейность и термооптический частотный шум 24,25 . На сегодняшний день встроенные резонаторы были ограничены собственными 9Значения 0047 Q ниже 260 миллионов для кольцевых волноводов 26 и 150 миллионов для спиральных волноводов 25 . Значительный прогресс был достигнут с гибридными конструкциями, в которых используется дисковый резонатор из протравленного кварца на кристалле, продемонстрировавший 206 миллионов 27 , а недавно — рекордные 1,1 миллиарда 28 . Однако эти конструкции не полностью совместимы с изготовлением пластин в масштабе, чувствительны к условиям окружающей среды и требуют герметичного уплотнения, а также тщательного проектирования режимов. Значительный прогресс в интегрированных резонаторах напрямую повлияет на приложения, требующие сверхмалой ширины линии лазера и фазового шума, а фильтрация с узкой шириной линии еще больше выиграет от структур, которые можно интегрировать на кристалле с другими компонентами (например, лазерами, фильтрами).
Проблемы включают снижение потерь на рассеяние и поглощение. Потери на рассеяние из-за несовершенства волновода можно уменьшить за счет конструкции с большим коэффициентом длины 29,30 и улучшенной литографии и травления 31 , а потери на поглощение можно уменьшить за счет правильного выбора ширины запрещенной зоны материала 32 , отжига примесей 22,33 и пассивации поглощающих состояний поверхности 0 34 . Если исключить боковую стенку волновода и шероховатость поверхности, то основные характеристики с ограниченными потерями будут определяться фундаментальными потерями в материале и релеевским рассеянием 35,36,37,38 . Мера предела поглощения волновода указывает на достижимую производительность для данной технологии волновода, если механизмы рассеяния, отличные от Рэлея, уменьшены ниже потерь поглощения. Возможные пределы потерь будут обусловлены рэлеевским рассеянием для волноводных материалов с присущим им беспорядком и остаточной мнимой частью показателя преломления даже вдали от резонансов 31 .
Собственные потери задают нижнюю границу ширины линии резонатора. Необходимы решения для полностью волноводных конструкций резонаторов с добротностью, приближающейся к 500 миллионам, способной превысить миллиард, с резонансами субМГц, большой площадью моды и объемом, а также совместимостью с фотонной интеграцией и обработкой в масштабе пластины.
В этой статье мы сообщаем о значительном улучшении характеристик интегрированного волноводного резонатора. A Si 3 N 4 шинный кольцевой резонатор с измеряемой собственной 9Демонстрируется 0047 Q из 422 миллионов. Резонатор имеет ширину линии на половине максимальной ширины (FWHM) 906 кГц и соответствующую тонкость 3005, демонстрируя самую низкую ширину линии, насколько нам известно, в фотонной интегральной планарной схеме. Мы измерили собственную ширину линии 453 кГц, ширину линии с ограничением потерь 57 кГц и соответствующие линейные потери 0,060 дБ·м −1 , что, насколько нам известно, представляет наименьшие потери в волноводе на кристалле, достигнутые при SiO 2 верхняя облицовка 30 .
Кроме того, мы сообщаем о 3,4 миллиардах ограниченных потерь поглощения Q, измеренных с использованием фототермического метода измерения 38,39 . Насколько нам известно, это самые высокие коэффициенты качества, ограниченные собственными и абсорбционными потерями, и самая низкая ширина линии, зарегистрированная на сегодняшний день для фотонного интегрированного резонатора. Эти характеристики достигаются за счет тщательного уменьшения компонентов потерь на рассеяние и поглощение, а также введения тонкого (~ 5 нм) сплошного нитридного слоя и дополнительной стадии отжига. Путем моделирования потерь на рассеяние и измерения общих собственных потерь и потерь на поглощение мы количественно определяем вклад потерь от каждого источника потерь. В дополнение к изучению этих общеизвестных источников потерь, мы проводим измерения с помощью масс-спектроскопии вторичных ионов (SIMS) для исследования потенциальных резонансов оборванных связей на поверхности сердцевины нитридного волновода с химическим осаждением из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) с и без покрытия ~ 5 нм.
нитридный слой. Мы обнаружили, что при слое бланкета ~5 нм и 30-минутном отжиге концентрация водорода снижается на один порядок вверху и внизу сердцевины волновода, осажденного из LPCVD. Большая площадь моды резонатора и объем моды этой конструкции позволяют уменьшить низкочастотные компоненты шума и вклады в интегральную ширину линии, возникающие из-за теплового демпфирования фототермического шума. Эти результаты демонстрируют возможность доведения производительности объемных оптических и травленых резонаторов до планарных всеволноводных решений и прокладывают путь к интегрированным всеволноводным резонаторам Billion Q для атомных часов, квантовых вычислений и связи, прецизионной спектроскопии и энергоэффективных когерентных резонаторов. системы связи.
Результаты
Проектирование и изготовление резонатора
Наш сверхвысокодобротный волноводный кольцевой резонатор показан на рис. 1a, а поперечное сечение, полученное с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), показано на рис.
1b. Шероховатость поверхности волновода связывает направленную энергию с континуумом излучения, что приводит к потерям на рассеяние, а поглощение объемным материалом преобразует направленные моды в тепло, как показано на рис. 1c. Точечные дефекты на поверхности волновода, созданные во время процессов осаждения материала или травления волновода, могут создавать связь между продольными модами или модами прямого и обратного распространения, вызывая случайное расщепление резонанса, как показано на рис. 1d. Процессы осаждения материала и травления волновода могут создавать реконструированные связи Si-Si и оборванные связи Si- и N-, которые также могут становиться вторичными связями с примесями водорода, такими как Si-H, N-H и Si-O-H, что приводит к потери поверхностного поглощения 38,40 . Связь шина-резонатор может привести к потерям в резонаторе в режиме сверхвысокой добротности. Тщательная конструкция соединения шина-резонатор менее подвержена избыточным потерям 26 .
a Иллюстрация конструкции резонатора. b Волноводная конструкция. Врезное изображение поперечного сечения волновода с термической оксидной нижней оболочкой, протравленная сердцевина волновода из нитрида кремния, выращенная методом химического осаждения из газовой фазы (LPCVD), выращенная методом химического осаждения из газовой фазы (LPCVD), дополнительный тонкий (~ 5 нм) защитный слой нитрида кремния. (покрывая верхнюю часть сердечника и боковые стенки) и верхнюю оболочку из оксида предшественника тетраэтоксисилана с плазменным химическим осаждением из паровой фазы (TEOS-PECVD). Шкала длины SEM составляет 100 нм. c Шероховатость поверхности волновода рассеивает энергию направляющей моды в виде излучения, а объемное поглощение генерирует тепло. d Точечные дефекты, расщепленные резонансы. e Дефектные связи, такие как Si-O-H, Si-H, N-H и оборванные связи, приводят к поверхностному поглощению.
f Соединитель шина-кольцо рассеивает энергию в режимах излучения и добавляет избыточные потери.
Полноразмерное изображение
Сердцевина волновода резонатора Si 3 N 4 представляет собой конструкцию с высоким коэффициентом удлинения, шириной 11 мкм и толщиной 40 нм, выбранную для уменьшения потерь на рассеяние на боковых стенках 26,29 . Сердцевина волновода шины также имеет большое соотношение сторон, ширину 7 мкм и толщину 40 нм, что обеспечивает работу в одномодовом режиме 29 . Окончательная структура волновода, более подробно описанная ниже и в дополнительной информации, содержит сплошной нитридный слой ~ 5 нм, который покрывает верхнюю и боковые стенки волновода и используется для снижения потерь и увеличения добротности. Моделирование мод волновода показывают, что волноводы резонатора поддерживают только основную моду TE. Радиус резонатора, 11,787 мм, больше, чем критический радиус изгиба для основной моды TE, в то время как моды более высокого порядка не поддерживаются из-за больших потерь на изгиб в асимметричной верхней и нижней геометрии оксидной оболочки (см.
Дополнительный рисунок 2). Направленный ответвитель имеет слабую конусообразную форму, чтобы избежать избыточных потерь ответвителя 26 . Основываясь на нашем моделировании связи и предыдущих измерениях тестового устройства, зазор 6,898 мкм между шиной и волноводом резонатора реализует конструкцию резонатора с недостаточной связью (более подробно обсуждается в дополнительном разделе и на дополнительном рисунке 3).
Технологический процесс изготовления повторяет наши предыдущие этапы формирования рисунка пластины, травления, осаждения верхней оболочки и отжига 2 с дополнительным тонким (~ 5 нм) нитридным покровным слоем, расположенным под окончательным оксидом верхней оболочки. Именно этот тонкий нитридный защитный слой используется для сглаживания верхней и боковых стенок волновода, уменьшения рассеяния на поверхности сердцевины и компенсации оборванных связей, которые, как мы полагаем, создаются во время нитридного осаждения сердцевины первичного волновода LPCVD и травления сердцевины нитридного волновода.
Как более подробно описано в разделе «Методы», нижний плакирующий слой оксида толщиной 15 мкм термически выращивается на кремниевой подложке. Затем с помощью LPCVD осаждается нитрид кремния 40 нм, и все сердцевины волноводов травятся, как описано в разделе «Методы». Нитридная сердцевина полностью протравлена, а нижняя оболочка протравлена, создавая волноводную структуру сердцевины меза-типа, как показано на рис. 1b. Нитридный слой LPCVD толщиной 5 нм покрывает верхнюю и боковые стенки волновода, а также области оболочки, как видно на фотографии СЭМ на рис. 1b. Увеличенная ширина волновода до ~10 нм и толщина нитридного слоя ~5 нм, а также наличие нитридного слоя ~5 нм поперек оболочки не влияют на форму моды и не изменяют желаемую одномодовую работу, как более подробно обсуждается в Дополнительная информация. Отжиг проводят до и после осаждения прекурсора тетраэтоксисилана верхней оболочки методом плазменно-химического парового осаждения (TEOS-PECVD). Мы изготовили УВКР-устройства с нитридным бланкетным слоем ~5 нм и «управляющие» устройства без бланкетного слоя, оба с одинаковыми конструктивными параметрами шинного волновода и резонатора.
Как показано в дополнительной информации, изменение толщины волновода на 5 нм приводит к изменению эффективного индекса моды только на 0,1%, а изменение ширины на 10 нм приводит только к изменению эффективного индекса моды <0,01%. .
Q-фактор, ширина линии и резонансное расщепление
Q измеряется с использованием как радиочастотного (RF) калиброванного волоконного интерферометра Маха-Цендера (MZI), так и методов звонка вниз 2,15,27,41 , описанных более подробно в дополнительной информации. На рисунке 2а показано сканирование пропускания UHQR в нескольких свободных спектральных диапазонах (FSR) с использованием быстро перестраиваемого лазера (см. раздел «Методы»), и измерен FSR на частоте 2,713 ГГц. Резонансное расщепление наблюдается в некоторых резонансах (показанных на вставках) из-за сочетания связи между модами, распространяющимися по часовой стрелке (CW) и против часовой стрелки (CCW), и очень узкой ширины линии резонатора. Такое расщепление ранее наблюдалось в сверхвысокодобротных резонаторах типа шепчущей галереи или микротороидальных резонаторах 42,43,44,45 .
На вставках на рис. 2а показаны отдельные моды резонанса и случайные изменения расщепления резонанса между разными модами.
a Спектральная развертка основного поперечного электрического поля (TE) с длиной волны 1570 нм для устройств управления (синяя кривая) и сверхвысококачественного ( Q ) резонатора (UHQR) (оранжевая кривая). Полная и внутренняя ширины линий извлекаются из лоренцевской аппроксимации. Желтый синусоидальный сигнал представляет собой калиброванный радиочастотный (РЧ) волоконный интерферометр Маха-Цендера (свободный спектральный диапазон (FSR) = 5,871 ± 0,004 МГц, см. Дополнительную информацию). м, млн. b UHQR время затухания ( τ ) измерение на 1570 нм с расчетными нагруженными и внутренними факторами Q ( Q L и Q в ).
Экспериментальные данные (синяя кривая) аппроксимируются экспоненциальной кривой (оранжевая кривая). c Сводная информация об общей (синий кружок) и собственной (синяя точка) ширине линии для контроля и общей (оранжевый кружок) и собственной (оранжевая точка) ширине линии для устройств UHQR от 1550 нм до 1600 нм. d Измерено собственное значение Q в диапазоне от 1550 нм до 1600 нм для контрольного (синяя точка) и UHQR (оранжевая точка) резонаторов. e Измерение потерь на фототермическое поглощение от 1550 нм до 1600 нм для UHQR и контроля. Указаны наивысший UHQR 422 Million, собственный Q на 1570 нм и Q с ограниченным поглощением ( Q abs ) из 3,4 миллиарда на 1600 нм. Потери, не связанные с поглощением, соответствуют модели потерь на поверхностное рассеяние (пунктирные линии). Синяя точка, крестик и ромб представляют собственные потери, потери на поглощение и непоглощение для контрольных резонаторов. Оранжевые точки, кресты и ромбы представляют собственные потери, потери на поглощение и непоглощение для резонаторов UHQR.
Полноразмерное изображение
Мы используем метод уравнения связанных мод (CME) для моделирования расщепления резонанса путем включения связи мод 37,38,46,47 , как описано в дополнительной информации. Расщепление может быть преднамеренно достигнуто добавлением брэгговских решеток 48,49 или размещением рассеивателей вблизи волновода резонатора 44,50,51 . Наиболее вероятной причиной расщепления здесь являются случайные дефекты сердцевины волновода из-за поверхностных и объемных дефектов 52 и случайное обратное рассеяние, вызванное неровностями 53 . Случайное изменение расщепления может происходить в зависимости от количества дефектов на поверхности волновода, относительного расстояния между частицами дефекта и положения частиц на поверхности волновода 44,50,51 (см. рис. 1d). Для одиночного расщепленного резонанса связь между модами CW и CCW создает полосу задержания, что приводит к расщеплению резонанса (показано на рис.
3b). При наличии шероховатости поверхности расщепление и потери на рассеяние волновода увеличиваются с увеличением шероховатости 38 и на разных пластинах с разными процессами изготовления расщепление и потери могут демонстрировать сильную корреляцию 39 . На рис. 3c мы наносим зависимость собственной ширины линии от скорости расщепления для 96 измеренных резонансов вблизи 1550 нм для трех разных устройств, изготовленных на одной пластине. Положительная корреляция между шириной линии и скоростью разделения наблюдается при наклоне линейной подгонки 0,11, 0,48 и 1,55, что дает линейную корреляцию 0,82, 0,73 и 0,76 соответственно. Эти результаты показывают, что случайность расщепления обусловлена случайными дефектными частицами и шероховатостью боковой стенки волновода, и в то же время коррелирует с потерями. Кроме того, резонансы с менее выраженным расщеплением также имеют более высокие коэффициенты экстинкции в резонансе. Это означает меньшую ширину линии, учитывая, что резонатор недостаточно связан 54 .
Случайное расщепление резонанса, как правило, нежелательно и приводит, например, к многомодовой или нестабильной генерации в бриллюэновских лазерах 2,55 или к нарушению условий фазового синхронизма в гребенках керровских оптических частот 5 .
a Спектральное сканирование в пяти свободных спектральных диапазонах (FSR) около 1550 нм подтверждает работу в режиме единого поперечного электрического поля (TE), синяя кривая. Детали отдельных резонансов обнаруживают случайное расщепление. b Резонансное расщепление за счет связи между прямой и обратной волнами. c Диаграмма рассеяния измеренной собственной ширины линии в зависимости от скорости расщепления около 1550 нм для трех сверхвысокодобротных резонаторов (UHQR), изготовленных на одной и той же пластине. Синяя точка, желтая точка и фиолетовая точка обозначают устройства UHQR1, UHQR2 и UHQR3 соответственно.
Изображение в натуральную величину
Для измерения добротности резонатора мы используем два разных метода: ИМЦ с РЧ-калибровкой и оптический кольцевой анализ с временным разрешением 2,27 .
Дополнительные сведения об этих двух методах приведены в дополнительной информации, а подробности калибровки описаны в разделе «Методы». MZI FSR откалиброван на 5,871 МГц с доверительным интервалом 0,004 МГц, что соответствует относительной ошибке 0,7%. Эта ошибка распространяется на ширину линии, Q и измерения FSR. Измеренная форма резонанса пропускания соответствует лоренцеву профилю и общей ширине линии γ T , loaded Q factor Q 0 = ω 0 /γ T , coupling rate γ ex , intrinsic linewidth γ in , и внутренний Q Фактор Q в = ω 0 /γ в , и потеря волны α , извлечены из этого. Измерения для нерасщепленных резонансов от 1550 до 1600 нм для UHQR и устройств управления представлены на рис. 2c–e. Самый высокий внутренний 92} = 2,5{\mathrm{\% }}\) для Q и измерения ширины линии.
Измерения FSR и тонкости имеют относительную погрешность 0,7% от калибровки MZI. На основании этих измерений мы рассчитали ширину линии полного и собственного резонанса на 1570 нм и составили 906 ± 23 кГц и 453 ± 11 кГц соответственно. FSR на 1570 нм составляет 2,720 ± 0,019 ГГц, как показано на дополнительном рисунке 5, с соответствующей точностью 3005 ± 21. Чтобы подтвердить измерения MZI UHQR Q , откалиброванные по радиочастоте, мы проводим измерения звонка вниз (см. «Методы» и дополнительную информацию для получения дополнительной информации), в результате чего нагруженный Q из 217 ± 4 миллионов. Спектральное сканирование на 1570 нм предполагает, что этот резонанс находится в критической связи, и поэтому собственное Q составляет 434 ± 9 миллионов. Этот доверительный интервал исходит из подгонки кольца вниз. Спектральные и временные собственные измерения Q на длине волны 1570 нм хорошо согласуются, учитывая их перекрывающиеся доверительные интервалы.
Снижение потерь
UHQR демонстрирует значительное снижение потерь по сравнению с контрольным резонатором. Для количественной оценки вклада потерь при поглощении и рассеянии мы измеряем бистабильный отклик потерь на фототермическое поглощение (см. «Методы» и дополнительную информацию для более подробной информации) 33,38,39,56 . Фототермический эффект вызывает красное смещение резонанса, сравнимое с шириной резонансной линии или превышающее ее, в результате абсорбционного нагрева на кристалле, показанного на дополнительном рис. 6. Соединение нашей модели теплопередачи в резонаторе с измеренным красным смещением и на- мощность чипа, мы количественно оцениваем потери на поглощение (см. Дополнительную информацию). Мы используем скорость развертки ~1 мс через резонанс, так как смоделированная тепловая постоянная времени составляет ~0,1 мс 57 . Поглощение, связанное с примесью водорода, было определено как вклад в потери в режиме сверхнизких потерь с пиком поглощения около 1520 нм 30,33,39,56 .
Измеренное поглощение и рассчитанные потери на рассеяние в зависимости от длины волны показаны на рис. 2e. Самая узкая ширина линии с ограничением поглощения составляет 51 кГц при 1600 нм, что соответствует ограниченной поглощением добротности 3,4 миллиарда. Дополнительные сведения о методике измерения потерь см. в разделе «Методы и дополнительная информация». Этот результат указывает на потенциал для коэффициентов качества, превышающих 1 миллиард, если потери на рассеяние будут уменьшены (до значений, меньших, чем потери, связанные с поглощением) или устранены. Чтобы оценить потенциальное влияние изменения оптической моды из-за покровного слоя нитрида ~ 5 нм, мы смоделировали профиль моды и коэффициент ограничения (см. Дополнительную информацию) и подтвердили, что существует незначительное изменение из-за геометрии волновода. В таблице 1 представлена разбивка измеренных общих потерь и потерь на поглощение, а также расчетных потерь на рассеяние для UHQR и контрольных образцов.
Мы наблюдаем снижение потерь на рассеяние на порядок и уменьшение потерь на поглощение в два раза из-за заполнения нитридного слоя ~5 нм и дополнительной стадии отжига.
Полноразмерная таблица
Мы подгоняем измеренные потери непоглощения к модели рассеяния, как описано в дополнительной информации. Предполагая конструкцию волновода с большим удлинением, среднеквадратичной (RMS) шероховатостью боковой стенки 1 нм и длиной корреляции 50 нм, потери на рассеяние составляют порядка 0,001 дБ м -1 . Потери на рассеяние порядка 0,1 дБ м −1 рассчитаны для верхней и нижней поверхностей волновода при среднеквадратичной шероховатости 0,2 нм и корреляционной длине 10 нм. Используя эти результаты, мы оценили эффективную шероховатость верхней поверхности волновода в 0,21 и 0,32 нм для СВКР и устройств управления соответственно, используя длину корреляции 10 нм9.0009 30,31,39 .
Кроме того, увеличение толщины волновода увеличивает удержание моды и, следовательно, увеличивает потери на рассеяние, если шероховатость поверхности остается примерно постоянной. Однако мы наблюдаем уменьшение потерь, подтверждая наш вывод о том, что UHQR имеет меньшую шероховатость поверхности.
Увеличение потерь поглощения на более коротких длинах волн (рис. 2e) указывает на вероятный пик поглощения, связанный с примесью водорода, около 1520 нм. Чтобы профилировать концентрацию примеси водорода, SIMS выполняется на образцах пластин как с непротравленной конструкцией волновода UHQR, так и с конструкцией контрольного волновода. Результаты, представленные в таблице 2, показывают, что концентрация водорода была снижена на один порядок на образце с нитридным слоем приблизительно 5 нм и последующим 30-минутным отжигом. Это подтверждает наше наблюдение об уменьшении потерь на поглощение, как показано на рис. 2e. Другая составляющая поверхностного поглощения связана с реконструкцией поверхности оборванных связей 38,40 .
Водород на этих границах раздела может быть присоединен к реконструированным дефектным связям, таким как Si-H, N-H и Si-O-H, как показано на рис. 1e.
Полноразмерная таблица
Обсуждение
В этой статье мы сообщаем о значительном улучшении характеристик фотонно-интегрированных полноволноводных резонаторов и волноводов со сверхнизкими потерями, демонстрируя собственную добротность 422 миллиона, собственную ширину линии 453 кГц, собственную ширину линии 906 кГц. загруженная ширина линии и соответствующие линейные потери 0,060 дБ м −1 . Эти результаты, насколько нам известно, отражают самую высокую добротность и самую низкую ширину линии, продемонстрированную на сегодняшний день для цельноволноводного резонатора, а также самые низкие потери в волноводе, достигнутые с помощью волновода из нитрида кремния с нанесенным верхним покрытием из SiO 2 . Резонатор поддерживает только одну моду TE за счет больших потерь на изгибе для моды TM.
Эта работа с одной модой поляризации приводит к одному FSR и более надежной конструкции по сравнению с двухмодовыми резонаторами 9.0009 27 . Большой объем и площадь моды (~ 2,9 × 10 6 мкм 3 и 39,6 мкм 2 ) поддерживают большое число фотонов, что является важным аспектом лазеров с малой основной шириной линии лазера 2,58,59,60 . Резонаторы со сверхвысокой добротностью, такие как тот, о котором сообщается в этой статье, в сочетании с методами обратной связи, такими как Pound-Drever-Hall (PDH) 61,62 , могут значительно сузить ширину интегральной лазерной линии при использовании в качестве эталонного резонатора 63 . Q с ограничением по поглощению в 3,4 миллиарда и соответствующая ширина линии с ограничением по поглощению на частоте 57 кГц измеряются с использованием фототермического метода измерения. Эти измерения показывают, что потенциал резонаторов с интегрированными фотонными волноводами может превысить 1 миллиард Q, если потери на рассеяние снизятся до уровня ниже текущих потерь на поглощение.
Анализ ошибок важен для уверенного определения Q, ширины линии и точности для устройств с таким уровнем производительности. Измерения спектральной добротности и ширины линии MZI имеют доверительный интервал 2,5%, в то время как измерения кольцевого звонка дают доверительный интервал 2,1%. Мы вычисляем относительную ошибку 0,7% для измерений FSR и тонкости. Эти спектральные и временные измерения хорошо согласуются, учитывая их перекрывающиеся доверительные интервалы. Поскольку технология волноводных резонаторов продолжает совершенствоваться, сложные методы измерения также должны улучшать разрешение и точность.
Этот уровень производительности достигается за счет введения тонкого (~ 5 нм) сплошного нитридного слоя в нашей предыдущей конструкции с высоким соотношением сторон 26,29 , который покрывает как напыленную сердцевину LPCVD, так и термическую оксидную оболочку, с последующим нанесением последующий отжиг перед нанесением верхней оксидной оболочки TEOS-PECVD. Наши измерения убедительно свидетельствуют о том, что общий нитридный слой снижает потери на рассеяние нитридов на боковых и верхних сторонах в 10 раз и снижает потери на поглощение в 3 раза по сравнению с контрольным образцом с низкими потерями.
Измерения SIMS на непротравленных образцах UHQR и контрольных образцах нитрида кремния показывают снижение концентрации водорода в конструкции UHQR в верхней части нитрида LPCVD 40 нм на порядок. Уменьшение потерь на поглощение также свидетельствует о том, что сочетание тонкого нитридного слоя и последующего отжига снижает потери на поглощение из-за примесей водорода и некомпенсированных оборванных связей на верхней нитридной поверхности, осажденной методом LPCVD. Ширина линии резонанса менее мегагерца позволяет нам разрешить расщепление резонанса, не наблюдаемое в наших предыдущих конструкциях с меньшей добротностью. Мы применяем модель связи мод CME, которая позволяет нам измерять и дополнительно анализировать основные механизмы потерь и разрабатывать стратегии для дальнейшего увеличения добротности и снижения потерь. Наклон линейного соответствия между шириной линии и скоростью разделения указывает на то, что случайность разделения обусловлена случайными дефектными частицами и шероховатостью боковой стенки волновода, которые линейно коррелируют с потерями на рассеяние.
Мы определили, что наиболее вероятной причиной расщепления являются случайные дефекты в сердцевине нитридного волновода из-за поверхностных и объемных дефектов, а также случайного обратного рассеяния, вызванного шероховатостью. Поскольку случайное расщепление может происходить в зависимости от количества дефектов на поверхности волновода, относительного расстояния между частицами дефекта и положения частиц на поверхности волновода, мы считаем, что улучшения в осаждении нитрида и постобработке могут дальнейшее снижение потерь, а также альтернативные методы обработки волноводов и геометрия, обеспечивающие более гладкие поверхности 64 . Из результатов ВИМС мы подозреваем, что примесь водорода имеет два источника: оборванные связи на поверхности нитрида после осаждения LPCVD и влага от воздействия воздуха. В будущем будут проводиться измерения индивидуальных потерь при каждом улучшении (т. е. после сплошного нитридного слоя, после отжига, после травления широкого волновода) для дальнейшего улучшения нашего понимания механизмов потерь.
Стратегии смягчения включают дополнительные этапы целенаправленного отжига и пассивацию оборванных связей для предотвращения образования нежелательных молекул. Также возможно дальнейшее увеличение добротности за счет использования TM-моды, которая менее чувствительна к шероховатости волновода и имеет меньшие потери при распространении 27,28 .
В дополнение к снижению частотного шума и сужению ширины линии, полностью интегрированные резонаторы волновода могут играть роль в лазерной стабилизации. Степень стабильности зависит от конкретного применения и требуемых интервалов интегрирования, например, промежутка времени, по истечении которого лазер с оптическими атомными часами выходит за пределы диапазона захвата ширины линии атомного резонанса по отношению к тактовому циклу без обратной связи 8 или интегральная ширина линии лазера, которая измеряется джиттером несущей и девиацией Аллана 65 и шум вблизи несущей 63 . Стабилизацию частоты можно определить по шуму, близкому к несущей частоте резонатора, джиттеру и долговременному дрейфу.
Для стабилизации низкочастотных составляющих шума (например, 1 Гц и менее) потребуются конструкции резонаторов, которые также имеют близкие к нулю коэффициенты теплового расширения 66,67,68 и демпфированные реакции на возмущения окружающей среды 69 определяемые в значительной степени по упаковке и монтажу, а также по материалу и конструкции резонатора. Эти аспекты стабилизации резонатора являются предметом текущих исследований волноводных резонаторов. Результаты, представленные в этой статье, демонстрируют перспективу довести производительность объемных оптических и травленых резонаторов до планарных всеволноводных решений и проложить путь к интегрированным всеволноводным резонаторам Billion Q для атомных часов, нелинейной оптики, квантовых вычислений и связи, прецизионности. спектроскопия и энергосберегающие системы когерентной связи.
Методы
Процесс изготовления
Подложка и нижняя оболочка состоят из термооксида толщиной 15 мкм, выращенного на кремниевой пластине диаметром 100 мм.
Основной волноводный слой представляет собой стехиометрическую пленку Si 3 N 4 толщиной 40 нм, нанесенную на термооксид нижней оболочки методом LPCVD. Стандартный слой фоторезиста глубокого ультрафиолета (DUV) формовали, а затем формировали его с помощью степпера DUV. Сердцевина волновода с большим удлинением формируется путем анизотропного сухого травления Si 3 N 4 в установке для травления с индуктивно связанной плазмой с использованием химии CHF 3 /CF 4 /O 2 . После травления пластина очищается с использованием стандартного процесса очистки Radio Corporation of America (RCA). Для СВКР наносился дополнительный тонкий слой нитрида кремния с последующим 30-минутным отжигом при 1100 °C в атмосфере кислорода без дополнительного травления. Верхний плакирующий слой из диоксида кремния толщиной 6 мкм был нанесен в два этапа по 3 мкм с использованием плазмохимического осаждения из паровой фазы (PECVD) с тетраэтоксисиланом (TEOS) в качестве прекурсора с последующим окончательным двухэтапным отжигом при 1050 °C.
в течение 7 ч и 1150 °С в течение 2 ч. Технологический процесс изготовления показан на дополнительном рис. 1. 9.0011
Измерения добротности и потерь
В этих измерениях мы использовали широко перестраиваемый лазер TLB-6730 Velocity™. В качестве резонатора для измерения добротности использовался несимметричный ВЧ-калиброванный ИМЦ длиной около 40 м на волоконной основе. Для калибровки ИМЦ FSR использовался радиочастотный (РЧ) электронно-оптический фазовый модулятор (ЭОМ) для создания двух боковых полос. При сканировании через резонанс две боковые полосы используются для калибровки MZI FSR. Было выполнено три калибровки с тремя разными радиочастотами: 10, 20 и 30 МГц. Измеренная частота MZI FSR составляет 5,871 ± 0,004 МГц. Мы одновременно сканируем лазером через MZI и UHQR, а также через контрольные устройства, производящие калиброванные сканы. Для подтверждения измерений MZI с радиочастотной калибровкой использовалась стандартная методика кольцевания резонатора. Для этого измерения частота волоконного лазера качалась вокруг резонанса резонатора путем подачи треугольного сигнала на пьезоэлектрический регулятор частоты лазера.
Между тем, прямоугольная волна 10 кГц подавалась на модулятор интенсивности 10 ГГц, который служил входным затвором мощности лазера (включено-выключено). Для мониторинга оптического сигнала использовался Thorlabs PDB-450C с полосой пропускания 150 МГц. Частота лазера изменяется достаточно медленно, чтобы обеспечить зарядку и разрядку резонатора. Время затухания звонка ( τ ) измеряется путем подгонки измеренного экспоненциального затухания. Коэффициент добротности под нагрузкой оценивается с использованием Q L = ωτ , а общий коэффициент потерь рассчитывается как γ T / τ08 7 9048 По ширине спектральной линии и измерениям добротности MZI, откалиброванным по радиочастоте, коэффициент ослабления резонанса показывает соотношение между собственными потерями и потерями связи. Учитывая, что эти резонаторные устройства недостаточно связаны (см. Дополнительную информацию и Дополнительный рисунок 4 для получения подробной информации), мы можем рассчитать собственные потери по времени отключения.
Измерения ВИМС
ВИМС были выполнены на двух образцах пластин, каждый из которых был с LPCVD осажденной тонкой пленкой нитрида кремния толщиной 40 нм на термическом оксиде. Одна пластина имеет общий нитридный слой ~5 нм с последующим 30 минутным отжигом. Другая пластина представляет собой сердечник LPCVD 40 нм только без нитридного слоя и последующего отжига. Затем образцы пластин были отправлены в EAG Laboratories для SIMS для определения концентрации примеси водорода.
Доступность данных
Данные, подтверждающие графики в этой статье и другие результаты этого исследования, можно получить у соответствующего автора по обоснованному запросу.
Ссылки
Kessler, T. et al. Лазер с полосой пропускания менее 40 мГц на основе кремниевого монокристаллического оптического резонатора. Нац. Фотоника 6 , 687–692 (2012).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Zhang, W. et al. Ультратонкий фотонно-атомный лазер. Laser Photonics Rev. 14 , 13 (2020 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Del’Haye, P. et al. Генерация гребенки оптических частот из монолитного микрорезонатора. Природа 450 , 1214–1217 (2007).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья КАС Google ученый
Киппенберг Т.Дж., Гаета А.Л., Липсон М. и Городецкий М.Л. Диссипативные керровские солитоны в оптических микрорезонаторах. Наука 361 , eaan8083 (2018).
ПабМед Статья КАС Google ученый
Carlson, D.R. et al. Самореферентные частотные гребенки с использованием высокоэффективных волноводов из нитрида кремния. Опц. лат. 42 , 2314–2317 (2017).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Sanders, G. A. et al. В Волоконно-оптические датчики и приложения XIII . (редакторы Эрик, У., Гэри, П. и Ду, Х.Х.) Труды SPIE, Vol. 9852, https://doi.org/10.1117/12.2244881 (2016 г.).
Ладлоу А.Д., Бойд М.М., Йе Дж., Пейк Э. и Шмидт П.О. Оптические атомные часы. Ред. Мод. физ. 87 , 637–701 (2015).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Сильверстоун, Дж. В. и др. Встроенная квантовая интерференция между кремниевыми источниками пар фотонов.
Нац. Фотоника 8 , 104–108 (2014).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Сильверстоун, Дж. В. и др. Запутанность кубитов между источниками пары фотонов кольцо-резонатор на кремниевом чипе. Нац. коммун. 6 , 1–7 (2015).
Артикул КАС Google ученый
Paesani, S. et al. Генерация и выборка квантовых состояний света в кремниевом чипе. Нац. физ. 15 , 925–929 (2019).
КАС Статья Google ученый
Orieux, A. & Diamanti, E. Последние достижения в области интегрированных квантовых коммуникаций. J. Опт. 18 , 083002 (2016).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Чжан Г.
и др. Интегрированная платформа кремниевых фотонных чипов для непрерывного распределения квантовых ключей. Нац. Фотоника 13 , 839–842 (2019).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Хирата, С., Акацука, Т., Отаке, Ю. и Моринага, А. Диодный лазер с субгерцевой шириной линии, стабилизированный в высокоточный оптический резонатор со сверхнизким дрейфом. Заяв. физ. Экспресс 7 , 022705 (2014).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Армани, Д. К., Киппенберг, Т. Дж., Спиллейн, С. М. и Вахала, К. Дж. Тороидальный микрорезонатор со сверхвысокой добротностью на кристалле. Природа 421 , 925–928 (2003).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Папп, С. Б. и Диддамс, С.
А. Спектральные и временные характеристики гребенки оптических частот микрорезонатора из плавленого кварца. Физ. Ред. A 84 , 053833 (2011 г.).ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Lee, H. et al. Химически вытравленный сверхвысокодобротный клиновидный резонатор на кремниевой микросхеме. Нац. Фотоника 6 , 369–373 (2012).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Грудинин И. С., Ильченко В. С., Малеки Л. Сверхвысокие оптические добротности кристаллических резонаторов в линейном режиме. Физ. Ред. A 74 , 063806 (2006 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Грудинин И. С., Мацко А. Б., Малеки Л. О фундаментальных пределах добротности кристаллических диэлектрических резонаторов.
Опц. Экспресс 15 , 3390–3395 (2007 г.).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Савченков А. А., Мацко А. Б., Ильченко В. С., Малеки Л. Оптические резонаторы десятимиллионной точности. Опц. Экспресс 15 , 6768–6773 (2007 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
Pfeiffer, M.H.P. et al. Процесс Photonic Damascene для интегральной высокодобротной микрорезонаторной нелинейной фотоники. Optica 3 , 20–25 (2016).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Блюменталь Д. Дж., Хайдеман Р., Гёзебрук Д., Лейнсе А. и Рулоффзен С. Нитрид кремния в кремниевой фотонике. Проц. IEEE 106 , 2209–2231 (2018).
КАС Статья Google ученый
Huang, G. et al. Терморефрактивные шумы в микрорезонаторах из нитрида кремния. Физ. Ред. A 99 , 061801 (2019 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Lee, H. et al. Спиральные резонаторы для встроенной стабилизации частоты лазера. Нац. коммун. 4 , 2468 (2013).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья КАС Google ученый
Джин В. и др. Полупроводниковые лазеры с шириной линии герца, использующие микрорезонаторы со сверхвысокой добротностью, готовые к использованию КМОП. Препринт на https://arxiv.org/abs/2009.07390 (2021 г.
).Ян, К.Ю. и др. Соединение сверхвысокодобротных устройств и фотонных схем. Нац. Фотоника 12 , 297–302 (2018).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Ву, Л. и др. Добротность встроенных микрорезонаторов превышает один миллиард. Опц. лат. 45 , 5129 (2020).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
Bauters, J. F. et al. Волноводы Si 3 N 4 с высоким коэффициентом сжатия и сверхмалыми потерями. Опц. Экспресс 19 , 3163 (2011).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Bauters, J. F. et al. Планарные волноводы с потерями при распространении менее 0,1 дБ/м, изготовленные методом склеивания пластин.
Опц. Экспресс 19 , 24090 (2011).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Ji, X. et al. Встроенные резонаторы со сверхнизкими потерями и параметрическим порогом генерации менее милливатта. Оптика 4 , 619 (2017).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья Google ученый
Блюменталь, Д. Дж. Фотонная интеграция для приложений УФ-ИК. APL Photonics 5 , 020903 (2020).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Лю, Дж. и др. Высокопроизводительное производство в масштабе пластин фотонных схем из нитрида кремния со сверхнизкими потерями и дисперсионной инженерией. Препринт на https://arxiv.org/abs/2005.13949 (2020 г.).
Руссо И. и др. Оптическое поглощение и кислородная пассивация поверхностных состояний в III-нитридных фотонных устройствах.
J. Appl. Физ . 123 , 113103 (2018).ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Охаши М., Шираки К. и Тадзима К. Оптические потери одномодовых волокон на основе кварца. Дж. Лайт. Технол. 10 , 539–543 (1992).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Сайто, К. и др. Предел потерь на рэлеевское рассеяние в кварцевом волокне. Заяв. физ. лат. 83 , 5175–5177 (2003).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Городецкий М.Л., Прямиков А.Д., Ильченко В.С. Рэлеевское рассеяние в высокодобротных микросферах. J. Опт. соц. Являюсь. 17 , 1051–1057 (2000).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Pfeiffer, M.H.P. et al. Сверхгладкие волноводы из нитрида кремния на основе процесса оплавления Damascene: изготовление и происхождение потерь. Оптика 5 , 884 (2018).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Haverlag, M., Vender, D. & Oehrlein, G.S. Эллипсометрическое исследование повреждения поверхности кремния при электронно-циклотронном резонансном плазменном травлении с использованием CF 4 и SF 6 . Заяв. физ. лат. 61 , 2875–2877 (1992).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Ван Ю. и др. Расщепление мод, выявленное интерференцией Фано. Фотоника рез. 7 , 647–651 (2019).
КАС Статья Google ученый
Хе, Л., Оздемир, Ш. К., Чжу, Дж. и Ян, Л. Сверхчувствительное обнаружение расщепления мод в активных оптических микрорезонаторах. Физ. Ред. A 82 , 053810 (2010 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Zhu, J. et al. Обнаружение одиночных наночастиц на кристалле и определение их размера путем разделения мод в сверхвысокодобротном микрорезонаторе.
Нац. Фотоника 4 , 46–49 (2010).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Киппенберг, Т. Дж. Определение размера частиц путем разделения мод. Нац. Фотоника 4 , 9–10 (2010).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Ли, А. и др. Обратное рассеяние в кремниевых микрокольцевых резонаторах: количественный анализ. Laser Photonics Rev. 10 , 420–431 (2016).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Борселли М., Шринивасан К., Барклай П. Э. и Пейнтер О. Рэлеевское рассеяние, связь мод и оптические потери в кремниевых микродисках. Заяв. физ. лат. 85 , 3693–3695 (2004).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Campanella, C. E. et al. Локализованное измерение деформации с кольцевыми полостями на волоконной брэгговской решетке. Опц. Экспресс 21 , 29435 (2013).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Yi, X. et al. Расщепление мод, вызванное множественными рэлеевскими рассеивателями, в высокодобротном микрорезонаторе с модой шепчущей галереи. Физ. Ред. A 83 , 023803 (2011 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Чжу, Дж., Оздемир, Ш. К., Хе, Л. и Ян, Л. Управляемое управление разделением мод в оптическом микрорезонаторе с помощью двух рэлеевских рассеивателей.
Опц. Экспресс 18 , 23535 (2010).ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Бэр-Джонс, Т., Хохберг, М. и Шерер, А. Фотодетектирование в кремнии за границей зоны с поверхностными состояниями. Опц. Экспресс 16 , 1659 (2008 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Моричетти Ф., Канчиамилла А. и Меллони А. Статистика обратного рассеяния в оптических волноводах. Опц. лат. 35 , 1777 (2010).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
Bogaerts, W. et al. Кремниевые микрокольцевые резонаторы. Laser Photonics Rev. 6 , 47–73 (2012).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Сян, К. и др. Эффекты нелинейных потерь в высокодобротных кремниевых кольцевых резонаторах для гетерогенно интегрированных перестраиваемых лазеров с узкой шириной линии III-V/Si. Опц. Экспресс 28 , 19926 (2020).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Кармон, Т., Ян, Л. и Вахала, К. Дж. Динамическое тепловое поведение и тепловая самостабильность микрополостей. Опц. Экспресс 12 , 4742–4750 (2004 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
Мурадян А. Ширина лазерной линии. Физ. Сегодня 38 , 42 (1985).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Ли, Дж., Ли, Х., Чен, Т. и Вахала, К.Дж. Характеристика высококогерентного бриллюэновского микрорезонаторного лазера на кремнии. Опц. Экспресс 20 , 20170–20180 (2012).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Drever, R.W.P. et al. Стабилизация фазы и частоты лазера с помощью оптического резонатора. Заяв. физ. B 31 , 97–105 (1983).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья Google ученый
Доменико, Г. Д., Шилт, С. и Томанн, П. Простой подход к взаимосвязи между шумом лазерной частоты и формой лазерной линии. Заяв. Опц. 49 , 4801–4807 (2010).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
Чжао, К. и др. D-образные волноводы из нитрида кремния с низкими потерями, использующие процесс изготовления диэлектрического отрыва. In 2020 Конференция по лазерам и электрооптике (CLEO) 1–2 (2020).
Аллан, Д. В. Характеристика времени и частоты (во временной области), оценка и прогнозирование точных часов и генераторов. IEEE Trans. Ультрасон. Ферроэлектр. Частота Контроль 34 , 647–654 (1987).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
Qiu, F., Spring, A.M. & Yokoyama, S. Атермический и высокодобротный гибрид TiO 2 — Si 3 N 4 кольцевой резонатор методом изготовления без травления. ACS Photonics 2 , 405–409 (2015).
КАС Статья Google ученый
Ву, К.-Л. и другие. Атермический микрокольцевой резонатор на основе пятиокиси тантала (Ta 2 O 5 ). OSA Contin. 2 , 1198 (2019).
КАС Статья Google ученый
Линг Дж. и др. Атермический микрорезонатор из ниобата лития. Опц. Экспресс 28 , 21682 (2020).
ОБЪЯВЛЕНИЕ пабмед Статья Google ученый
«>Gundavarapu, S. et al. Фотонный интегральный бриллюэновский лазер с основной шириной линии субгерцовой частоты. Нац. Фотоника 13 , 60–67 (2018).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья КАС Google ученый
Нац. Фотоника 8 , 104–108 (2014).
и др. Интегрированная платформа кремниевых фотонных чипов для непрерывного распределения квантовых ключей. Нац. Фотоника 13 , 839–842 (2019).
А. Спектральные и временные характеристики гребенки оптических частот микрорезонатора из плавленого кварца. Физ. Ред. A 84 , 053833 (2011 г.).
Опц. Экспресс 15 , 3390–3395 (2007 г.).
«>Марпаунг Д., Яо Дж. и Капмани Дж. Интегрированная микроволновая фотоника. Нац. Фотоника 13 , 80–90 (2019).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
).
Опц. Экспресс 19 , 24090 (2011).
J. Appl. Физ . 123 , 113103 (2018).
«>Борселли, М., Джонсон, Т.Дж. и Пейнтер, О. За пределом рэлеевского рассеяния в высокодобротных кремниевых микродисках: теория и эксперимент. Опц. Экспресс 13 , 1515 (2005).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС пабмед Статья Google ученый
«>Лербер, Твон и Зигрист, М. В. Принцип замыкания резонатора для волоконно-оптических резонаторов: экспериментальная реализация потерь на изгибе и определение затухающих полей. Заяв. Опц. 41 , 3567–3575 (2002).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья Google ученый
Нац. Фотоника 4 , 46–49 (2010).
«>Пакетт М., Бозе Д., Нельсон К. и Блюменталь Д. Дж. В CLEO: Science and Innovations SM4O–1 (Оптическое общество Америки, 2019 г.). http://proxy.osapublishing.org/conference.cfm?meetingid=124&yr=2019.
Опц. Экспресс 18 , 23535 (2010).
«>Бехунин Р.О., Оттерстром Н.Т., Ракич П.Т., Гундаварапу С. и Блюменталь Д.Дж. Динамика фундаментального шума в бриллюэновских лазерах каскадного порядка. Физ. Ред. A 98 , 023832 (2018 г.).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
«>Генри К. Теория ширины линии полупроводниковых лазеров. IEEE J. Quantum Electron 18 , 259–264 (1982).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья Google ученый
«>Блэк, Э. Д. Введение в стабилизацию частоты лазера Паунда-Древера-Холла. утра. Дж. Физ. 69 , 79–87 (2000).
ОБЪЯВЛЕНИЕ Статья Google ученый
«>Zhang, W., Baynes, F., Diddams, S.A. & Papp, S.B. Оптический эталон частоты Microrod в окружающей среде. Физ. Преподобный заявл. 12 , 024010 (2019).
ОБЪЯВЛЕНИЕ КАС Статья Google ученый
Ссылки для скачивания
Благодарности
Этот материал основан на работе, проведенной при поддержке Агентства перспективных оборонных исследовательских проектов (DARPA) и Тихоокеанского центра космических и военно-морских боевых систем (SSC Pacific) по контракту № N66001-16-C- 4017 и Агентство перспективных исследовательских проектов в области энергетики (ARPA-E) Министерства энергетики США под номером награды DE-AR0001042. Взгляды и выводы, содержащиеся в этом документе, принадлежат авторам и не должны интерпретироваться как представляющие официальную политику DARPA, ARPA-E или правительства США. Мы хотели бы поблагодарить Рона Полкавича и Джеймса Адлемана за полезные обсуждения. Мы также благодарим Джима Нохаву, Джо Секстона, Джима Хантера, Дейна Ларсона, Майкла Де Рубейса и Джилл Линдгрен из Honeywell за их вклад в разработку дизайна маски и изготовление образцов.
Информация об авторе
Примечания автора
Эти авторы внесли равный вклад: Matthew W. Puckett, Kaikai Liu.
Авторы и филиалы
Honeywell International, Феникс, Аризона, США
Мэтью В. Пакетт, Цзяньфэн Ву и Карл Д. Нельсон
- Калифорнийский университет электротехники и вычислительной техники
Санта-Барбара, Калифорния, США
Кайкай Лю, Нитеш Чаухан, Цяньчэн Чжао и Дэниел Дж. Блюменталь
Факультет прикладной физики, Йельский университет, Нью-Хейвен, Коннектикут, США
Найджун Джин, Хаотянь Ченг и Питер Т. Ракич
Факультет физики и астрономии, Университет Северной Аризоны, Флагстафф, Аризона 11, США 9000
Ryan O. Behunin
Center for Materials Interfaces in Research and Applications, Университет Северной Аризоны, Флагстафф, Аризона, США
Ryan O. Behunin
Авторы
- Matthew W. Puckett
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Kaikai Liu
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Nitesh Chauhan
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Qiancheng Zhao
Посмотреть публикации автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Naijun Jin
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Haotian Cheng
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Jianfeng Wu
Посмотреть публикации автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Ryan O. Behunin
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Peter T. Rakich
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Karl D. Nelson
Посмотреть публикации автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
- Daniel J. Blumenthal
Просмотр публикаций автора
Вы также можете искать этого автора в PubMed Google Scholar
Puckett
BehuninContributions
M.W.P., K.L. и D.J.B. подготовил рукопись. M.W.P., J.W., R.O.B. и D.J.B. участвовал в разработке резонатора. М.В.П. и К.Д.Н. изготовил резонаторы. MWP, KL и NC проверили работу резонатора. Q.Z. изготовлены образцы пластин для испытаний методом ВИМС. Нью-Джерси, Х.К. и П.Т.Р. разработали моделирование потерь при рассеянии. К.Л. и Н.К. выполнили измерения и анализ потерь на фототермическое поглощение.
Все авторы внесли свой вклад в анализ смоделированных и экспериментальных результатов. DJB, KDN и P.T.R. руководил и руководил научной коллаборацией.
Автор, ответственный за переписку
Дэниел Дж. Блюменталь.
Заявление об этике
Конкурирующие интересы
Авторы не заявляют об отсутствии конкурирующих интересов.
Дополнительная информация
Информация о рецензировании Nature Communications благодарит анонимных рецензентов за их вклад в рецензирование этой работы
Примечание издателя Springer Nature остается нейтральной в отношении юрисдикционных претензий в опубликованных картах и институциональной принадлежности .
Дополнительная информация
Дополнительная информация
Права и разрешения
Открытый доступ Эта статья находится под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 International License, которая разрешает использование, совместное использование, адаптацию, распространение и воспроизведение на любом носителе или в любом формате.
, при условии, что вы укажете первоначальных авторов и источник, предоставите ссылку на лицензию Creative Commons и укажите, были ли внесены изменения. Изображения или другие сторонние материалы в этой статье включены в лицензию Creative Commons для статьи, если иное не указано в кредитной строке материала. Если материал не включен в лицензию Creative Commons статьи, а ваше предполагаемое использование не разрешено законом или выходит за рамки разрешенного использования, вам необходимо получить разрешение непосредственно от правообладателя. Чтобы просмотреть копию этой лицензии, посетите http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/.
Перепечатка и разрешения
Об этой статье
Дополнительная литература
Субмегагерцовый спектральный провал в безрезонаторной скрученной усиливающей среде
- Нил Чокси
- И Лю
- Ли Цянь
Природа Фотоника (2022)
Оптически реконфигурируемый квазисинхронизм в микрорезонаторах из нитрида кремния
- Эдгарс Нитисс
- Цзяньци Ху
- Камиль-Софи Брес
Природа Фотоника (2022)
Исследование поглощения материалов и оптической нелинейности интегрированных фотонных материалов
- Маодун Гао
- Ци-Фань Ян
- Керри Дж. Вахала
Nature Communications (2022)
Малошумящие интегрированные фотонные лазеры с быстрой перестройкой частоты для когерентной дальности
- Григорий Лихачев
- Иоганн Рименсбергер
- Тобиас Дж. Киппенберг
Nature Communications (2022)
Оптически синхронизированные оптоволоконные линии связи с использованием спектрально чистых лазеров в масштабе микросхемы
- Грант М. Бродник
- Марк В. Харрингтон
- Дэниел Дж. Блюменталь
Природа Фотоника (2021)
- Грант М.
Вахала
БродникКомментарии
Отправляя комментарий, вы соглашаетесь соблюдать наши Условия и Правила сообщества. Если вы обнаружите что-то оскорбительное или не соответствующее нашим условиям или правилам, отметьте это как неприемлемое.
Удаление резонатора Плюсы и минусы — что нужно знать? – Rx Mechanic
Транспортные средства изготавливаются с учетом их характеристик и операций, соответствующих типу производимого транспортного средства или модели. Тем не менее, некоторые автовладельцы предпочитают модифицировать свой автомобиль, чтобы он полностью отличался от обычных транспортных средств.
Вы хотите улучшить характеристики своего автомобиля и его расход топлива при минимальном весе? Удаление резонатора — одна из основных модификаций, которые вы можете сделать в своем автомобиле, чтобы добиться этого. Все, что вам нужно знать о снятии резонатора вашего автомобиля, было раскрыто в этой статье.
Что такое удаление резонатора?
Удаление резонатора — это процесс модификации или модернизации, который изменяет поток импульсов, генерируемых автомобилем, движущимся через его выхлопное отделение. По сути, это подобие большой эхо-камеры.
Удаление резонатора помогает оптимизировать частоты импульсов, генерируемых вашим автомобилем, тем самым достигая определенного уровня повышения мощности. Это может сделать выхлоп вашего автомобиля громким и агрессивным. Тем не менее, это помогает поддерживать оптимальный расход топлива, высокую производительность и эффективность.
Типы резонаторов
Существуют различные типы резонаторов, которые вам, возможно, придется рассмотреть, если вы собираетесь удалить резонатор в выхлопном отсеке вашего автомобиля.
Некоторые из типов резонаторов включают следующее.
- Керамика
- Кристалл
- Коаксиальный
- Диэлектрик
- Поверхностная акустическая волна (ПАВ)
- Железо-иттриевый гранат (ЖИГ)
Было бы полезно рассмотреть их один за другим, прежде чем выбрать тот, который лучше всего подходит для вашего автомобиля.
Сколько стоит удаление резонатора?
Модификация автомобиля для повышения его производительности в некоторых случаях может быть очень дорогой; следовательно, люди только воображают, насколько хорошо они модифицировали бы свою машину, но ради стоимости того, что они намерены сделать. Между тем, удаление резонатора не так дорого, как большинство проектов по модификации автомобиля.
Однако стоимость удаления резонатора зависит от марки и модели автомобиля. Если вы хотите улучшить характеристики своего автомобиля, минимизировать расход топлива и улучшить звук от его выхлопа, вы можете добиться этого за несколько долларов.
Рассмотрим средний ценовой диапазон удаленных резонаторов с некоторых автомобилей.
| Автомобиль | Средний диапазон цен |
| Форд | От 120 до 200 долларов |
| Додж | От 100 до 125 долларов |
| Хонда | От 100 до 135 долларов |
| Шевроле | От 110 до 150 долларов |
| Ниссан | От 110 до 200 долларов |
| БМВ | От 100 до 140 долларов |
| Инфинити | От 110 до 220 долларов |
Как удалить резонатор
Удаление резонатора не занимает целый день; для удаления резонатора потребуется всего около часа. Наличие набора для удаления резонатора также будет дополнительным преимуществом. Найдите минутку, чтобы понять следующие шаги для выполнения удаления.
Шаг 1: Поднимите автомобиль домкратом
Чтобы удалить резонатор, сначала поддомкратьте автомобиль и повесьте его на хорошие домкратные подставки.
Убедитесь, что под автомобилем достаточно места для снятия.
Шаг 2: Найдите резонатор.
Подняв автомобиль, чтобы освободить место под ним, найдите резонатор рядом (после) каталитического нейтрализатора; это перед глушителем вашего автомобиля.
Шаг 3: Отрежьте выхлопную трубу
Наденьте наушники, перчатки и очки, чтобы защитить себя должным образом. Затем возьмите полотно пилы и отрежьте выхлопную трубу на расстоянии до 2 дюймов от резонатора; сделать то же самое (отрезать трубу) на 2 дюйма назад от резонатора.
Этап 4: Снимите резонатор
Отрезав трубу на 2 дюйма вперед и 2 дюйма назад от резонатора, выньте резонатор из-под автомобиля.
Шаг 5: Сварите выхлопные трубы
Следующим шагом будет сварка выхлопных труб. Желательно получить хомут выхлопной трубы, соединить два патрубка выхлопной системы хомутом и закрепить его болтами на каждом конце.
Плюсы и минусы удаления резонатора
Удаление резонатора имеет несколько плюсов и минусов, на которые вы должны обратить внимание, если планируете провести модификацию.
Ниже приведены некоторые плюсы и минусы удаления резонатора, которые следует учитывать, прежде чем приступить к проекту.
Pros Of Resonator Delete
Юридически признанная модификация: Модификация вашего автомобиля с удалением резонатора разрешена законом в большинстве мест, за исключением Нового Южного Уэльса и некоторых других мест. Таким образом, у вас не возникнет проблем с модификацией выхлопной системы вашего автомобиля.
Изменение профиля выхлопа: Удаление резонатора — это один из способов оснастить ваш автомобиль более глубоким и аутентичным звуком, и он не меняет ничего, кроме настройки звука выхлопа вашего автомобиля.
Уменьшенный вес автомобиля: Уменьшение веса автомобиля является для вас большим преимуществом, особенно в плане сокращения расхода топлива и экономии топлива. Снятие резонатора вашего автомобиля в конечном итоге уменьшит его вес.
Минимальная стоимость: Удаление резонатора не так затратно, как некоторые другие модификации автомобиля; его минимальная стоимость составляет около 100 долларов или меньше.
Если вы решите улучшить модификацию, вырезав устройство и приварив к отсеку новую прямую трубу, это будет всего около 300 долларов.
Возможный прирост мощности: Большинство автомобилей получают прибавку до 5 лошадиных сил после удаления резонатора на них. Если у вас было сильное скопление сажи или любая другая форма блокировки в выхлопном отсеке вашего автомобиля, удаление резонатора устранит их, тем самым улучшив мощность двигателя вашего автомобиля.
Не требует дополнительного обслуживания: Резонатор удаляет его раз и навсегда; вам не нужны никакие проверки или ремонт после завершения удаления резонатора на выхлопе вашего автомобиля. При необходимости вы также можете восстановить выхлоп в исходное состояние.
Минусы
Изменяет фирменный звук автомобиля: Некоторые марки и модели автомобилей, такие как Ford F150, Ferrari и т. д., издают характерный звук выхлопа, который выделяет их среди других транспортных средств на дороге.
Выполнение удаления резонатора на таких транспортных средствах автоматически изменит их характерный звук.
Изменяет скорость потока выхлопных газов: Большинство современных автомобилей оснащены специальным циклом сгорания, при котором поршни выталкивают выхлопные газы, используемые двигателем, из камеры, чтобы она могла быть заполнена свежим воздухом и топливом. Удаление резонатора могло повлиять на этот процесс.
Возможно влияет на гарантию: Большинство автомобилей имеют гарантийный период, и гарантия включает определенные пункты, которые вы не должны изменять. Таким образом, удаление резонатора, скорее всего, приведет к аннулированию гарантии на ваш автомобиль из-за переделки выхлопного отсека.
Возможная проблема с холостым ходом: После операции удаления резонатора в старых автомобилях могут возникнуть проблемы с холостым ходом, поскольку проблемы с холостым ходом обычно связаны с плохой работой каталитического нейтрализатора.
Между тем, удаление резонатора обычно влияет на работу каталитического нейтрализатора автомобиля, что приводит к проблемам с холостым ходом в старых автомобилях.
Триггеры проверки индикатора двигателя: Изменения противодавления происходят при замене резонатора из-за влияния операции на работу каталитического нейтрализатора вашего автомобиля. Когда это происходит, это может привести к тому, что индикатор проверки двигателя вашего автомобиля отобразится на приборной панели или выдаст код в системе вашего автомобиля.
Изменяет выработку энергии: Удаление резонатора может изменить способ прохождения импульсов, генерируемых вашим автомобилем, через выхлопную систему автомобиля. Это может потребовать большей мощности для эффективной работы двигателя, что приведет к потере мощности.
Часто задаваемые вопросы
В: Является ли удаление резонатора незаконным?
Это зависит. Как правило, удаление резонатора не является незаконным в большинстве мест; это означает, что вы можете изменить выхлопную систему вашего автомобиля по своему вкусу.
Если вы решите снять глушитель и резонатор, чтобы сделать звук вашего автомобиля громче, это ваш выбор.
Однако, если ваш автомобиль зарегистрирован в Новом Южном Уэльсе, удаление резонатора из выхлопной трубы вашего автомобиля является незаконным. Власти запрещают владельцам автомобилей модифицировать выхлопную систему своего автомобиля, чтобы звук автомобиля отличался от обычного.
Поэтому вам следует попытаться выяснить, что можно получить, где бы ни была зарегистрирована ваша машина или где вы решили проживать, особенно если вы только что переехали в новый город. Нарушение положений закона может быть очень жестким из-за предусмотренных штрафов.
В: Что делает резонатор в автомобиле?
Резонатор подавляет определенный диапазон звуковых частот, издаваемый выхлопными газами вашего автомобиля. Это своего рода эхо-камера, которая изменяет выхлоп вашего автомобиля. Резонатор подготавливает громкий звук или шум двигателя вашего автомобиля к заглушению глушителем.
Резонатор не только устраняет громкий шум; обычно он изменяет звук, издаваемый двигателем вашего автомобиля через выхлоп. Звук удаления резонатора отличается от звука удаления глушителя.
В: Повышает ли производительность удаление резонатора?
Да, это так. Удаление резонатора не только изменяет звук, издаваемый выхлопом вашего автомобиля; это также обеспечивает более быстрое движение выхлопных газов. Когда это происходит, ваш автомобиль получает больше возможностей для меньшего потребления топлива, тем самым повышая его производительность и эффективность.
Если вы хотите снизить расход топлива вашего автомобиля и повысить его производительность и эффективность, удаление резонатора — верный способ добиться желаемого. Повышение производительности в конечном итоге приведет к повышению удовлетворенности использованием транспортного средства.
В: Вредна ли прямая труба для вашего двигателя?
Конечно, это плохая идея. Если вы решите модифицировать свой автомобиль, установив прямые трубы на выхлопную трубу, как в стиле выхлопа гоночного автомобиля, вы сделаете плохой апгрейд, который вам может не понравиться в конце.
Прямые трубы могут увеличить скорость выхлопных газов вашего автомобиля, так что мощность двигателя вашего автомобиля упадет ниже 2500 или 2000 об/мин. Эта ситуация может сделать вашу машину медленнее всякий раз, когда вы пытаетесь запустить двигатель, когда вы едете из прожектора.
В: Что лучше, удалить глушитель или удалить резонатор?
При рассмотрении удаления резонатора и удаления глушителя они тесно связаны между собой, но с небольшой разницей. Удаление глушителя, кажется, очень популярно среди владельцев автомобилей, которые любят модифицировать свои автомобили. Это усиливает звук автомобиля, делая его громче, а также увеличивает расход топлива вашего автомобиля, поскольку снижает вес автомобиля.
Между тем, удаление резонатора не ограничивается усилением звука выхлопа вашего автомобиля; он автоматически изменяет звук, что большинство автовладельцев воспринимает как излишнюю модификацию. Эта модификация иногда меняет оригинальность фирменного звука автомобилей, делая его громче и злее.
В этом случае лучше удалить глушитель.
В: Пройдёт ли удаление резонатора проверку?
Удаление резонатора не полностью меняет звук выхлопа вашего автомобиля до такой степени, что ваш автомобиль не может пройти техосмотр. Снятие резонатора вашего автомобиля не повлияет на его излучение. Резонаторы меняют только звук, а не выделение смога, так что вам становится сложно пройти техосмотр.
Если вы сейчас думаете, сможет ли ваш автомобиль пройти техосмотр из-за удаления резонатора, вам не о чем беспокоиться, пока кислородные датчики вашего автомобиля не были перемещены.
В: Удаление резонатора не проходит техосмотр?
Нет, удаление резонатора не приводит к отказу от ТО. Это не оказывает неблагоприятного воздействия на выбросы таким образом, что ваш автомобиль не пройдет техосмотр. Удаление резонатора в основном изменяет звук, издаваемый выхлопом вашего автомобиля.
Ваш автомобиль все еще может пройти техосмотр или проверку независимо от удаления резонатора.
Модификация не приводит к тому, что выхлоп вашего автомобиля начинает выделять смог; выхлоп продолжает излучать на оптимальном уровне независимо от модификации удаления резонатора.
В: Будет ли при удалении резонатора выдаваться код?
Удаление резонатора изменяет каталитический нейтрализатор вашего автомобиля и влияет на заднюю часть выхлопной системы вашего автомобиля. Когда такая операция изменяет каталитический нейтрализатор вашего автомобиля, она иногда вызывает отображение сигнальной лампы на приборной панели.
В некоторых случаях это может вызвать код в компьютерной системе вашего автомобиля из-за изменений обратного давления, выполненных с помощью операции удаления резонатора. Вот почему владельцам автомобилей рекомендуется удалять глушитель вместо удаления резонатора.
Заключительные слова
Вы все еще думаете об удалении резонатора, что это значит, как это сделать и сколько стоит удаление? Я уверен, что НЕТ! Таким образом, удаление резонатора — это то, что нужно, если вы хотите повысить производительность и снизить расход топлива для своего автомобиля.
Если вы занимаетесь домашними делами, удаление глушителя и резонатора будет для вас довольно простым делом; однако, если вы не уверены в правильности выполнения демонтажа, обратитесь за помощью к профессиональному автомеханику, который сделает эту работу за вас.
Выхлопной резонатор | Глушитель Резонатор Тип 1 Резонаторы
Выберите параметры
Быстрый просмотр
M111062 Глушитель 11 x 55 дюймов подходит для Peterbilt 387
Grand Rock
ЦЕНА OEM $939.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: 49 долларов9.00
M-062 M111062 Резонатор типа 1 11 дюймов Круглый Peterbilt 387 Глушитель типа 1 11 дюймов x 55 дюймов с входом и выходом 5 дюймов Общая длина 61,5 дюйма Резонатор изготавливается на заказ для моделей Peterbilt 387 (оснащенных блоком DPF) 2007 года выпуска и новее.
Имеет общую…М-062
ЦЕНА ОЕМ $939.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $499.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $939.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $499.00
Итого:
Выберите опции
Выберите параметры
Быстрый просмотр
Хромированный глушитель 5 «x 51» ID-ID S5-51EXEXC
Grand Rock
ЦЕНА OEM $449.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $279.
00S5-51EXEXC 5 дюймов x 51 дюйм хромированный сепаратор глушителя ID-ID S5-51EXEXC Какие еще детали выхлопной системы мне понадобятся? В зависимости от вашей текущей выхлопной системы вам может понадобиться несколько труб для грузовика, чтобы завершить работу. Если вам нужно узнать, что…
S5-51EXEXC
ЦЕНА ОЕМ $449.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $279.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $449.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: 279 долларов.00
Итого:
Выберите опции
Выберите параметры
Быстрый просмотр
M-556 Тип 1 Резонатор 9 дюймов x 11,5 дюймов x 16 дюймов 3 дюйма ВХОД-ВЫХОД
ShuttleWorth
ЦЕНА OEM $389.
00ВАША ЦЕНА В настоящее время: 19 долларов9.00
M-556 Резонатор типа 1 9″ x 11,5″ x 16″ 3″ IN-OUT M-556 M-556 Какие еще детали выхлопной системы мне понадобятся? В зависимости от вашей текущей выхлопной системы вам может понадобиться несколько труб для грузовика, чтобы завершить работу. Если вам нужно узнать, какая труба OEM…
D13-7633/M-556
ЦЕНА ОЕМ $389.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $199.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $389.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $199.00
Промежуточный итог:
Выберите опции
Выберите параметры
Быстрый просмотр
М-150 Тип 1 Резонатор 9″x 14″ с входом-выходом ID 3,5″
Grand Rock
ЦЕНА OEM $337.
00ВАША ЦЕНА В настоящее время: $189.00
M-150 Резонатор типа 1 9″ x 14″ с внутренним диаметром 3,5″ Вход-выход M-150 M-150 Какие еще детали выхлопной системы мне понадобятся? В зависимости от вашей текущей выхлопной системы вам может понадобиться несколько труб для грузовика работу. Если вам нужно узнать, что…
М-150
ЦЕНА ОЕМ $337.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $189.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $337.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: 189 долларов США.00
Итого:
Выберите опции
Выберите параметры
Быстрый просмотр
9-дюймовый круглый резонатор x 10-дюймовая длина с 5-дюймовым IN-OUT M-145
Grand Rock
ЦЕНА OEM $259.
00ВАША ЦЕНА В настоящее время: 169 долларов.00
M-145 Резонатор типа 1 9 x 14 дюймов с входом и выходом 5 дюймов M-145 M-145 Какие еще детали выхлопной системы мне понадобятся? В зависимости от вашей текущей выхлопной системы вам может понадобиться несколько труб для грузовика Если вам нужно узнать, что такое OEM…
M-145/D16-0002
ЦЕНА ОЕМ $259.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $169.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $259.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $169.00
Итого:
Выберите опции
Выберите параметры
Быстрый просмотр
М-144 Тип 1 Резонатор 9″x 10″ с входом-выходом 4″
ShuttleWorth
ЦЕНА OEM $251.
00ВАША ЦЕНА В настоящее время: $169,00
M-144 Резонатор типа 1 9 x 10 дюймов с входом и выходом 4 дюйма M-144 M-144 Какие еще детали выхлопной системы мне понадобятся? Если вам нужно узнать, что такое OEM…
Д16-0001/М-144
ЦЕНА ОЕМ $251.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: $169.00
Выберите параметры Быстрый просмотр
Кол-во в корзине: 0
Цена:
ЦЕНА OEM $251.00
ВАША ЦЕНА В настоящее время: 169 долларов.00
Итого:
Выберите опции
Имеет общую…
00
00
00
00
00Добавление товаров в корзину
Просмотр корзины Продолжить покупки
Температурные характеристики пьезоэлектрического кольцевого резонатора MEMS AlN с контурным режимом на подложке КНИ
.
2021 29 января; 12 (2): 143.
дои: 10.3390/mi12020143.
Ситао Фэй 1 2 3 , Хао Жэнь 1
Принадлежности
- 1 Школа информационных наук и технологий Шанхайского технологического университета, Шанхай, 201210, Китай.
- 2 Шанхайский институт микросистем и информационных технологий Китайской академии наук, Шанхай 200050, Китай.
- 3 Университет Академии наук Китая, Пекин 100049, Китай.
- PMID: 33572931
- PMCID: PMC78
- DOI:
10. 3390/ми12020143
3390/ми12020143Бесплатная статья ЧВК
Ситао Фей и др. Микромашины (Базель). .
Бесплатная статья ЧВК
. 2021 29 января; 12 (2): 143.
дои: 10.3390/mi12020143.
Авторы
Ситао Фэй 1 2 3 , Хао Жэнь 1
Принадлежности
- 1 Школа информационных наук и технологий Шанхайского технологического университета, Шанхай, 201210, Китай.
- 2 Шанхайский институт микросистем и информационных технологий Китайской академии наук, Шанхай 200050, Китай.
- 3 Университет Академии наук Китая, Пекин 100049, Китай.
- PMID: 33572931
- PMCID: PMC78
- DOI: 10.3390/ми12020143
Абстрактный
Благодаря своей совместимости с ИС, высокой скорости звука и высокой теплопроводности резонаторы из нитрида алюминия (AlN) широко изучались в течение последних двух десятилетий и широко применялись для радиочастотных (РЧ) и сенсорных приложений.
Однако температурный коэффициент частоты (TCF) AlN составляет -25 частей на миллион/°C, что является высоким показателем и ограничивает его применение в радиочастотах и датчиках. Напротив, ВКФ сильнолегированного кремния значительно ниже, чем ВКФ AlN. В результате в этом исследовании используется резонатор кольцевого типа с контурной модой AlN с сильно легированным кремнием в качестве нижнего электрода, чтобы уменьшить TCF резонатора AlN. Представлен простой процесс микрообработки на основе кремния на изоляторе (КНИ). Отношение толщины кремниевого нижнего электрода к слою AlN было выбрано равным 20:1, чтобы ВКФ резонатора в основном зависела от сильно легированного кремния. Криогенное охлаждение до 77 К и нагрев до 400 К показали, что резонансная частота резонатора AlN изменяется линейно с изменением температуры; TCF оказался равным -90,1 ч/млн/°C. Также была измерена характеристика температурного гистерезиса резонатора, и резонатор AlN показал превосходную температурную стабильность.
Зависимость добротности от температурной характеристики также изучалась между 77 К и 400 К. Было обнаружено, что более низкая температура приводит к более высокой добротности, и добротность увеличилась на 56,43%, с 1291,4 при 300 К до 2020,2 при 77 К.
Ключевые слова: резонатор MEMS AlN; контурный режим; криогенные характеристики; сильно легированный кремний; температурный коэффициент частоты (TCF).
Заявление о конфликте интересов
Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов.
Цифры
Рисунок 1
Схема контурного режима…
Рисунок 1
Схема резонатора кольцевого типа с контурной модой.
Схема контурного резонатора кольцевого типа.
Рисунок 2
Сосредоточенный элемент фургона Баттерворта…
Рисунок 2
Сосредоточенный элемент модели Баттерворта Ван Дайка (BVD) из нитрида алюминия (AlN)…
фигура 2Сосредоточенный элемент модели Баттерворта Ван Дайка (BVD) резонатора из нитрида алюминия (AlN).
Рисунок 3
( a ) Результат моделирования…
Рисунок 3
( a ) Результат моделирования зависимости проводимости от частоты резонатора,…
Рисунок 3 ( a ) Результат моделирования зависимости проводимости от частоты резонатора, ( b ) режим вибрации резонатора.
Рисунок 4
Схема изготовления устройства…
Рисунок 4
Схема процесса изготовления устройства.
Рисунок 4Схема процесса изготовления устройства.
Рисунок 5
( a ) 2D оптический…
Рисунок 5
( a ) Двухмерное оптическое голографическое изображение резонатора, ( b )…
Рисунок 5 ( a ) Двухмерное оптическое голографическое изображение резонатора, ( b ) Трехмерное оптическое голографическое изображение резонатора, ( c ) Изображение тонкой пленки AlN, полученное методом атомно-силовой микроскопии (АСМ), ( d ) X -дифрактограммы пленки AlN.
Рисунок 6
Результаты измерения полной проводимости…
Рисунок 6
Результаты измерения полной проводимости в зависимости от частоты резонатора.
Рисунок 6Результаты измерения полной проводимости в зависимости от частоты резонатора.
Рисунок 7
( a ) ZNB Vector…
Рисунок 7
( a ) Анализатор цепей ZNB Vector и криогенная зондовая станция Lakeshore TTPX,…
Рисунок 7 ( a ) Анализатор цепей ZNB Vector и криогенная зондовая станция Lakeshore TTPX, ( b ) результаты измерения полной проводимости в зависимости от частоты резонатора при атмосферном давлении (черная линия) и низком давлении (красная пунктирная линия).
Рисунок 8
Результаты резонансной частоты…
Рисунок 8
Результаты зависимости резонансной частоты от температуры резонатора.
Рисунок 8Результаты зависимости резонансной частоты от температуры резонатора.
Рисунок 9
Результаты добротности…
Рисунок 9
Результаты зависимости добротности от температуры резонатора.
Рисунок 9 Результаты зависимости добротности от температуры резонатора.
См. это изображение и информацию об авторских правах в PMC
Похожие статьи
Исследование влияния конструкции нижнего электрода на резонаторы контурного типа из нитрида алюминия.
Юнг С.И., Рю С., Пьяцца Г., Ким Х.Дж. Юнг С.И. и др. Микромашины (Базель). 2019 7 ноября; 10 (11): 758. дои: 10.3390/ми10110758. Микромашины (Базель). 2019. PMID: 31703310 Бесплатная статья ЧВК.
Резонаторы лэмбовских волн из нитрида алюминия с температурной компенсацией.
Лин С.М., Йен Т.Т., Лай Ю.Дж., Фельметсгер В.В., Хопкрофт М.А., Кайперс Д.Х., Писано А.П. Лин С.М. и соавт. IEEE Trans Ultrason Ferrolectr Freq Control. 2010 март; 57(3):524-32. doi: 10.1109/TUFFC.2010.1443. IEEE Trans Ultrason Ferrolectr Freq Control.
2010.
PMID: 20211766Трехмерный анализ методом конечных элементов и характеристика квазиповерхностных резонаторов акустических волн.
Чен В., Чжан Л., Ян С., Цзя В., Чжан С., Гу И., Лу Л., Ву Г. Чен В. и др. Микромашины (Базель). 2021 17 сентября; 12 (9): 1118. дои: 10.3390/ми120
- .
Микромашины (Базель). 2021.
PMID: 34577761
Бесплатная статья ЧВК.
Материалы, конструкция и характеристики объемного резонатора акустических волн: обзор.
Лю Ю, Цай Ю, Чжан Ю, Товстопят А, Лю С, Сунь С. Лю Ю и др. Микромашины (Базель). 2020 28 июня; 11 (7): 630. дои: 10.3390/ми11070630. Микромашины (Базель). 2020. PMID: 32605313 Бесплатная статья ЧВК. Обзор.
Методы анализа диссипации и стратегии повышения добротности в пьезоэлектрических МЭМС резонаторах с боковой вибрацией: обзор.
Ту С, Ли Дж. Э., Чжан Х.С. Ту С и др. Датчики (Базель). 2020 сен 2;20(17):4978. дои: 10.3390/s20174978. Датчики (Базель). 2020. PMID: 32887409 Бесплатная статья ЧВК. Обзор.
2010.
PMID: 20211766
Посмотреть все похожие статьи
использованная литература
- Язди Н., Аязи Ф., Наджафи К. Микромеханические инерциальные датчики. проц. IEEE. 1998; 86: 1640–1659. дои: 10.1109/5.704269. — DOI
- Чае Дж., Кулах Х., Наджафи К. Монолитный трехосевой кремниевый емкостный акселерометр микро-g, изготовленный с помощью микромеханической обработки. Дж. Микроэлектромех. Сист. 2005; 14: 235–242. doi: 10.1109/JMEMS.2004.839347.
—
DOI
- Чае Дж., Кулах Х., Наджафи К. Монолитный трехосевой кремниевый емкостный акселерометр микро-g, изготовленный с помощью микромеханической обработки. Дж. Микроэлектромех.
- Ху Ф., Яо Дж., Цю С., Рен Х. Микрозеркало МЭМС, приводимое в действие электростатической силой. Дж. Электрост. 2010;68:237–242. doi: 10.1016/j.elstat.2010.01.005. — DOI
- Рен Х., Тао Ф., Ван В., Яо Дж. Электростатический привод вне плоскости, основанный на принципе рычага. Дж. Микромех. Микроангл. 2011;21:045019. дои: 10.1088/0960-1317/21/4/045019. — DOI
- Лю Л. , Чой С. Самозаряжающийся цианобактериальный суперконденсатор. Биосенс. Биоэлектрон. 2019;140:11354. doi: 10.1016/j.bios.2019.111354.
—
DOI
—
пабмед
- Лю Л.
Сист. 2005; 14: 235–242. doi: 10.1109/JMEMS.2004.839347.
—
DOI
, Чой С. Самозаряжающийся цианобактериальный суперконденсатор. Биосенс. Биоэлектрон. 2019;140:11354. doi: 10.1016/j.bios.2019.111354.
—
DOI
—
пабмедГрантовая поддержка
- 19YF1433900 / Проект Янфан
- 2018F0203-000-08/Стартап-проект ШанхайТех
Микрожидкостный резонатор с тонким отражателем для непрерывного концентрирования микроорганизмов: новый подход к анализу качества воды с помощью акустофлюидики
Микрожидкостный резонатор с тонким отражателем для непрерывного концентрирования микроорганизмов: новый подход к анализу качества воды с помощью акустофлюидики†
Дарио
Каруго, или Тобиас
Октон, б Валид
Мессауди, b Адам Л.
Фишер, с Мишель
Карбони, с Ник Р.
Харрис, 9 лет0009 д Мартин
Холм будет а также
Питер
Глинн-Джонс* б
Принадлежности автора
* Соответствующие авторы
и Научная группа по биоинженерии, Факультет инженерии и окружающей среды, Саутгемптонский университет, Саутгемптон, SO17 1BJ, Великобритания
б Группа электромеханического проектирования, Факультет инженерии и окружающей среды, Саутгемптонский университет, Саутгемптон, SO17 1BJ, Великобритания
Электронная почта: П.
Глинн-Джонс@soton.ac.uk
Тел.: +44 (0)2380 595769
с Химический факультет Саутгемптонского университета, Саутгемптон, SO17 1BJ, Великобритания
д Школа электроники и компьютерных наук (ECS), Саутгемптонский университет, Саутгемптон, SO17 1BJ, Великобритания
и Институт наук о жизни (IfLS), Саутгемптонский университет, Саутгемптон, SO17 1BJ, Великобритания
Аннотация
rsc.org/schema/rscart38″> Разработано акустофлюидное устройство для концентрирования вегетативных бактерий в формате непрерывного потока. Мы показываем, что можно преодолеть разрушающие эффекты акустического потока, которые обычно преобладают для мелких целевых частиц, и продемонстрировать скорость потока, совместимую с тестированием питьевой воды. Устройство состоит из многослойного резонатора с тонким отражателем, в котором бактерии во взвешенном состоянии левитируют к поверхности стекла под действием сил акустического излучения. Чтобы обеспечить надежную работу устройства в течение длительного времени, были проведены функциональные испытания, чтобы (i) сохранить целостность устройства с течением времени и стабилизировать его резонансную частоту, (ii) оптимизировать рабочие акустические параметры и (iii) свести к минимуму бактериальную адгезию. на внутренних поверхностях. С помощью разработанного устройства достигнуто значительное увеличение концентрации бактерий, максимально до ~60 раз.
Было обнаружено, что концентрационные характеристики резонаторов с тонким отражателем превосходят сопоставимые полуволновые резонаторы.Назначение выхлопных резонаторов
Автомобильная выхлопная система чувствительна даже к малейшим изменениям формы, размера и объема.
Излишне говорить, что когда вы модифицируете или удаляете такие компоненты, как резонатор, это изменит характеристики воздушного потока и продувки вашей выхлопной системы, а также звук.
Поэтому модификация удаления резонатора так популярна среди энтузиастов. Это делает звук автомобиля лучше — что субъективно — и делает выхлоп менее ограничивающим.
Чтобы точно знать, что произойдет, когда вы удалите или замените этот компонент, вам нужно понять, что делает резонатор и каково его назначение. Именно об этом мы и поговорим в этой статье.
Что делает выхлопной резонатор?
Вам предстоит многое узнать о вашем резонаторе; это не просто случайная труба, которая отводит выхлопные газы и шум вниз по течению.
Единственной целью резонатора является изменение и точная настройка звука, создаваемого процессом сгорания вашего двигателя до того, как он достигнет вашего глушителя.
Благодаря этому глушитель может успешно выполнять свою работу по подавлению шума выхлопных газов. Вот почему резонатор также называют предварительным глушителем.
Вообще резонатор предназначен для уменьшения гула выхлопа, и он отлично с этим справляется. Вместе с глушителем конечный результат весьма удивителен, если сравнить до и после.
Однако не во всех машинах есть резонаторы. Это действительно зависит от компоновки двигателя и общей конструкции выхлопной системы. Не удивляйтесь, если посетите магазин глушителей для удаления резонатора только для того, чтобы узнать, что в вашем автомобиле его изначально не было.
Как это работает
Так выглядит резонатор в разрезе Резонаторы расположены между каталитическим нейтрализатором и глушителем. То, как они работают, зависит от конструкции, но в первую очередь это связано с тем, что называется деструктивной интерференцией.
Эта же технология используется в наушниках с шумоподавлением. Вы можете узнать больше об этом в нашем руководстве по резонатору и глушителю.
Независимо от конструкции, во всех резонаторах используется тот или иной вид звукопоглощающего материала и перфорированные трубы тщательно подобранной длины и диаметра.
Эта комбинация влияет на то, как звуковые частоты внутри резонатора отражаются от внешних стенок и взаимодействуют друг с другом, эффективно подавляя друг друга.
Типы резонаторов
Выхлопные резонаторы бывают разных форм и размеров. Каждый тип работает немного по-разному, но по сути достигает одного и того же результата.
Давайте рассмотрим основные типы резонаторов, которые вы обычно найдете в большинстве современных автомобилей.
Glasspack
По сути, это прямые перфорированные трубы, заключенные в более крупный стальной корпус. Между этим корпусом и перфорированной трубой зажат звукопоглощающий материал, обычно стекловолокно.
Звук преобразуется в тепловую энергию, когда он поглощается стекловолокном или подобным материалом. В сообществе послепродажного обслуживания вы можете услышать, что эти типы резонаторов называются Cherry Bombs или стеклянными пакетами.
Прямая конструкция и звукопоглощение вместо того, чтобы звуковые волны отражались вокруг камеры, позволяют использовать конструкцию с меньшими ограничениями, создающую меньше противодавления по сравнению с расширительными камерами.
Helmholz
Резонаторы Helmholz привариваются непосредственно к глушителям выхлопных газов вторичного рынка. Но некоторые производители продают их как отдельные блоки, которые вы можете интегрировать в свою выхлопную систему.
Эти резонаторы обычно имеют полость, в которой собирается воздух, когда он втягивается и выталкивается.
Это приводит к разнице в давлении воздуха в потоке выхлопных газов по направлению к хвостовой части, что помогает уменьшить раздражающий гул, который вы можете услышать в определенных точках диапазона оборотов.
Резонатор вторичного рынка
Если вам нравится идея замены резонатора, но вы не хотите иметь дело с гулом выхлопа или увеличивать выбросы, тогда резонаторы вторичного рынка — это правильное решение для вас.
Очевидно, вам нужен тот, который подходит к вашему транспортному средству. Убедитесь, что размер (длина и диаметр) нового резонатора соответствует остальной части вашей выхлопной системы.
Также подумайте о своей цели; это меняет общий звук или просто уменьшает гул? Вы хотите выбрать резонатор, который поможет достичь этого.
Например, если вам нравится звук вашего выхлопа, но вы ненавидите гул при 3500 об/мин, имеет смысл найти резонатор типа Гельмгольца, который заглушит шум при данной скорости и частоте двигателя.
С другой стороны, если вы просто хотите улучшить звук в целом, вам нужно найти резонатор, который дополнит ваш глушитель так, как вы хотите.
Поиск отзывов и видео других людей, испробовавших резонатор на вашем конкретном автомобиле, — лучший способ понять, какой из них лучше всего подходит для вас.